沉积时间对旋转喷涂法制备的NiZn铁氧体薄膜的影响

采用旋转喷涂法低温沉积制备NiZn铁氧体薄膜,研究了沉积时间对薄膜相结构、显微形貌和磁性能的影响。结果表明,随着沉积时间延长,平均晶粒尺寸逐渐增大,(222)方向择优取向先增强后减弱,沉积速率先减小后稳定,随着薄膜厚度逐渐增大,晶粒的柱状结构也越发明显,结晶性能提高。NiZn铁氧体薄膜的饱和磁化强度M_(s)增高,矫顽力H_(c)降低,100 MHz的磁导率μ′增大,截止频率f_(r)从0.32 GHz降低至0.23 GHz。但是无论沉积时间长短,各薄膜均存在磁损耗角正切(μ"/μ′)过高的问题。

Co含量对旋转喷涂法制备的NiZn铁氧体薄膜的影响

采用旋转喷涂法低温沉积制备主配方为Ni_(0.17)Zn_(0.52)Co_(y)Fe_(2.31−y)O_(4)(y=0~_(0.09))的铁氧体薄膜,研究了Co含量对NiZn铁氧体薄膜相结构、显微形貌和磁性能的影响。结果表明,随Co含量增加,晶粒发生团聚,(222)择优取向减弱,三角形形貌不明显,晶粒均匀性变差。由于Co离子加入引起薄膜各向异性增强,矫顽力Hc增大至3.03 kA/m,且饱和磁化场逐渐增大,饱和磁化强度Ms单调递减,磁导率μ′单调递减截止频率fr单调递增。当主配方为Ni_(0.17)Zn_(0.52)Co_(0.09)Fe_(2.22)O_(4)时,截止频率fr可达最大值1.0 GHz。

Zn含量对NiZn铁氧体薄膜结构和磁性能的影响

采用旋转喷涂法低温沉积制备NiZn铁氧体薄膜,研究了Zn含量对NiZn铁氧体薄膜相结构、显微形貌和磁性能的影响。结果表明,随Zn含量增加,薄膜平均晶粒尺寸增大,其结晶度和饱和磁化强度M_(s)先增大后减小,矫顽力H_(c)减小至0.57 kA/m,薄膜起始磁导率μ′增大,截止频率f_(r)降低。EDS测试结果可知旋转喷涂法制备NiZn铁氧体薄膜中Zn含量越高时成分中Ni的缺失越严重。当主配方为Ni_(0.09)Zn_(0.68)Fe^(2.23)O_(4)时,频率在100 MHz的起始磁导率μ′可达最大值96。