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旋转基板的激光测温
被引量:
1
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作者
陆思渊
马秀芳
沈元华
《光学仪器》
2000年第3期3-7,共5页
激光测温是一种先进的温度测量方法。它具有测量准确、反应速度快、非接触等特点 ,尤其适用于测量真空镀膜中基板的温度。但目前的测温对象只能是固定的基板 ,因而还不完全实用。我们新发展了一种自动测温系统 ,可以对旋转基板的干涉条...
激光测温是一种先进的温度测量方法。它具有测量准确、反应速度快、非接触等特点 ,尤其适用于测量真空镀膜中基板的温度。但目前的测温对象只能是固定的基板 ,因而还不完全实用。我们新发展了一种自动测温系统 ,可以对旋转基板的干涉条纹移动进行计数 ,从而实现了旋转基板的测温 ,使激光测温技术更具实用性。介绍了该系统的原理。
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关键词
激光测温
真空镀膜
旋转基板
温度测量
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职称材料
题名
旋转基板的激光测温
被引量:
1
1
作者
陆思渊
马秀芳
沈元华
机构
复旦大学物理系
出处
《光学仪器》
2000年第3期3-7,共5页
文摘
激光测温是一种先进的温度测量方法。它具有测量准确、反应速度快、非接触等特点 ,尤其适用于测量真空镀膜中基板的温度。但目前的测温对象只能是固定的基板 ,因而还不完全实用。我们新发展了一种自动测温系统 ,可以对旋转基板的干涉条纹移动进行计数 ,从而实现了旋转基板的测温 ,使激光测温技术更具实用性。介绍了该系统的原理。
关键词
激光测温
真空镀膜
旋转基板
温度测量
Keywords
measuring temperature by laser,vacuum coating.
分类号
O484.5 [理学—固体物理]
TH811 [机械工程—精密仪器及机械]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
旋转基板的激光测温
陆思渊
马秀芳
沈元华
《光学仪器》
2000
1
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