多层自适应交叉近似加速的旋转对称体矩量法

为了更有效地分析旋转对称电大物体的电磁散射问题,提出了一种针对旋转对称矩量法的多层自适应交叉近似加速方法,并分别应用于基于三角形基函数和3阶Hermite基函数的旋转对称矩量法.使用所提方法加速混合场积分方程下旋转对称体矩量法的单模式与多模式阻抗矩阵的构建过程时,计算得到的远场雷达散射截面积与传统旋转对称矩量法的结果吻合良好,且计算效率明显提高.

半空间均匀手征旋转对称体的电磁散射分析

提出了将旋转对称体矩量法发展用于分析半空间环境下具有旋转对称结构的均匀手征目标散射特性。利用介质半空间矢量格林函数,建立了基于等效原理的表面积分方程组。利用其旋转对称特性,选取合适的基函数可以将三维分析降为二维分析,将原有大规模矩阵转化为求解一组具有小规模矩阵方程的问题,每个具有小规模矩阵方程的问题为原问题的Fourier模式,从而大大减少所求问题的计算复杂度,降低内存需求。最后通过数值算例验证了本文所发展的旋转对称算法的准确性和有效性。

平面面形绝对检验技术测量误差分析

绝对检验消除了参考面面形误差对干涉测量精度的制约,可实现纳米精度的面形测量。对现有主要平面面形绝对检验技术进行了总结比较,运用泽尼克多项式前36项构建被测平面,对边缘噪声、平面原始精度、旋转角度与偏心误差等因素对典型平面面形绝对检验技术测量精度的影响进行了模拟分析。绝对检验对被测平面原始精度、干涉图分辨率和旋转角度误差不敏感,对边缘噪声和旋转偏心误差敏感。实际测量中,旋转轴心对准误差应小于2 pixel,测量中心面积比取95%左右。