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Φ2mm微马达驱动旋转式微泵 被引量:5
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作者 章吉良 杨春生 +2 位作者 赵小林 张卫平 蔡炳初 《微细加工技术》 EI 2000年第1期55-60,共6页
在生物医学、化学液体的流量检测与分析及固态元器件冷却等领域中 ,均需要流量的精细控制和检测系统。在这类流量精细控制和检测系统中 ,微小型泵是一个基本元件。作者利用上海交通大学研制成功的、由微细加工工艺制备的、直径为2mm的... 在生物医学、化学液体的流量检测与分析及固态元器件冷却等领域中 ,均需要流量的精细控制和检测系统。在这类流量精细控制和检测系统中 ,微小型泵是一个基本元件。作者利用上海交通大学研制成功的、由微细加工工艺制备的、直径为2mm的电磁型微马达作驱动源 ,并配以电火花加工工艺制备的蜗壳和Ti合金叶轮制成旋转式微泵。微泵的外形尺寸为Φ4 5× 6 5mm ,最大流量可达 1 2ml/min ,流量可根据马达转速进行调节。 展开更多
关键词 电磁型微马达 钛合金叶轮 旋转式微泵 流量控制
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