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用射频等离子体轰击法向无定形类金刚石碳膜掺氮
1
作者 彭补文 《材料保护》 CAS CSCD 北大核心 2001年第12期61-61,共1页
关键词 射频等离子体轰击法 无定形类金刚石碳膜 化学气相沉积 掺氮 镀膜
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提高MCVD金刚石薄膜成核密度的有效方法 被引量：1
2
作者 刘大军 何金田 +3 位作者 王小平 张兵临 王建恩 沈书泊 《郑州大学学报（自然科学版）》 1995年第4期45-47,共3页
本文比较先在硅衬底上沉积无定形金刚石膜，然后再沉积金刚石膜，和直接在硅衬底上沉积金刚石膜的结果，前者成核密度大大提高，最后分析了提高成核密度的原因。
关键词 无定形金刚石膜 成核密度 金刚石薄膜 MCVD
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磁过滤真空阴极电弧沉积无定形金刚石碳膜
3
作者 杨喜昆 钱天才 《云南大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 1999年第S1期55-57,共3页
应用磁过滤真空阴极电弧离子沉积技术，以石墨为阴极靶材，在基片上沉积碳膜．利用光电子能谱，喇曼谱和扫描电镜对薄膜的结构形貌进行分析．结果表明：碳膜由具有金刚石特征ＳＰ３和非晶碳特征ＳＰ２的碳组成，并称之为无定形金刚石碳... 应用磁过滤真空阴极电弧离子沉积技术，以石墨为阴极靶材，在基片上沉积碳膜．利用光电子能谱，喇曼谱和扫描电镜对薄膜的结构形貌进行分析．结果表明：碳膜由具有金刚石特征ＳＰ３和非晶碳特征ＳＰ２的碳组成，并称之为无定形金刚石碳膜ａＤ． 展开更多
关键词 无定形金刚石膜 磁过滤
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