半导体芯片厂Fab无尘室空调的节能方法设计

阐述半导体芯片厂Fab无尘室风量、风压、进出风温度、变频控制、空调水、空间布局的节能设计途径,探讨Fab优化空间布局的节能方法,节能计算和分析。