微织构固结磨料抛光轮无水抛光熔融石英光学元件技术研究

抛光是精密光学元件制造的最后一道冷加工工序,当前采用的游离磨料抛光技术蕴含的不可控因素较多,且会在元件表面产生水合层并存在磨料浪费等问题。为了实现可控绿色抛光并确保光学元件达到所需的表面质量要求,固结磨料无水抛光技术以其独特的优势开始得到推广。然而,固结磨料抛光轮在加工时磨损剧烈,耐用性和散热性有所欠缺。因此,在抛光轮上构建螺旋形微织构图案,以压力、转速比、微织构纹理的曲率和条数作为影响因素设计了正交试验,得到了最佳抛光工艺参数。实验表明,与无织构普通抛光轮相比,螺旋形微织构抛光轮能够显著提高砂轮磨损性能,并且在加工过程中能够保证熔融石英元件材料去除率和表面粗糙度收敛。