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两类无油超高真空系统的实验方法
1
作者
任多敏
谢 宁
《物理实验》
北大核心
2001年第12期13-15,共3页
对涡轮分子泵无油超高真空系统及溅射离子泵无油超高真空系统的结构及操作方法作了介绍,并对它们相关的特性进行了讨论.
关键词
涡轮分子泵
溅射离子泵
无油超高真空系统
结构
实验方法
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职称材料
程控无油超高真空排气台的研制
被引量:
3
2
作者
米伦
李晓勇
+1 位作者
王远
李建
《真空与低温》
2005年第3期170-174,共5页
由外冷式吸附泵作为前级泵、溅射离子泵作为主抽真空泵构成无油超高真空系统,采用计算机控制技术,以真空度为工艺进程判据,对器件进行烘烤排气,实现电真空器件的真空排气工艺的自动控制。介绍了无油超高真空系统、控制系统、烘箱与热功...
由外冷式吸附泵作为前级泵、溅射离子泵作为主抽真空泵构成无油超高真空系统,采用计算机控制技术,以真空度为工艺进程判据,对器件进行烘烤排气,实现电真空器件的真空排气工艺的自动控制。介绍了无油超高真空系统、控制系统、烘箱与热功率以及软件的设计。排气台为多工位结构,具有气体质谱分析和充气功能;空载时极限真空度优于8×10-7Pa;烘箱烘烤温度为25~600℃,连续可调,恒温精度优于±1%;分析质量数为1~80。程控排气台设计合理,操作简便,计算机控制技术精细了工艺过程控制量,排除了人为因素,其性能稳定可靠,可满足使用要求。
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关键词
无油超高真空系统
真空
度
程控工艺
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职称材料
在70m^3容器中获得5×10^(-8)Pa 的超高真空
被引量:
1
3
作者
邹定忠
陈欣昔
《航天器环境工程》
1999年第4期17-26,共10页
KM3设备是一个容积为70m^3的大型空间模拟器。1993年将原来用油扩散泵作为主抽气泵的有油抽气系统改造成为用制冷机低温泵的无油抽气系统,并将系统的空载极限真空由9.3×10^(-7)Pa 提高到5×10^(-8)Pa。该系统不仅填补了国内新...
KM3设备是一个容积为70m^3的大型空间模拟器。1993年将原来用油扩散泵作为主抽气泵的有油抽气系统改造成为用制冷机低温泵的无油抽气系统,并将系统的空载极限真空由9.3×10^(-7)Pa 提高到5×10^(-8)Pa。该系统不仅填补了国内新一代大型无油超高真空系统的空白,而且在国际上也属领先水平。在设计中采用了分压强的概念,深入分析了各种气体成分的影响,成功地解决了所遇到的一系列理论和实际问题,为今后无油系统的设计提供了经验。文中详细介绍了按系统内各种不同气体的分压来进行设计的方法和为获得超高真空所采取的主要技术措施。
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关键词
无油超高真空系统
制冷机低温泵
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职称材料
题名
两类无油超高真空系统的实验方法
1
作者
任多敏
谢 宁
机构
中国科学技术大学天文与应用物理系
出处
《物理实验》
北大核心
2001年第12期13-15,共3页
文摘
对涡轮分子泵无油超高真空系统及溅射离子泵无油超高真空系统的结构及操作方法作了介绍,并对它们相关的特性进行了讨论.
关键词
涡轮分子泵
溅射离子泵
无油超高真空系统
结构
实验方法
Keywords
turb molecular pump
sputter ion pump
non-oil ultra high vacuum system
分类号
TB753.3 [一般工业技术—真空技术]
TB752.27 [一般工业技术—真空技术]
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职称材料
题名
程控无油超高真空排气台的研制
被引量:
3
2
作者
米伦
李晓勇
王远
李建
机构
中国工程物理研究院电子工程研究所
北京利方达真空技术有限责任公司
出处
《真空与低温》
2005年第3期170-174,共5页
文摘
由外冷式吸附泵作为前级泵、溅射离子泵作为主抽真空泵构成无油超高真空系统,采用计算机控制技术,以真空度为工艺进程判据,对器件进行烘烤排气,实现电真空器件的真空排气工艺的自动控制。介绍了无油超高真空系统、控制系统、烘箱与热功率以及软件的设计。排气台为多工位结构,具有气体质谱分析和充气功能;空载时极限真空度优于8×10-7Pa;烘箱烘烤温度为25~600℃,连续可调,恒温精度优于±1%;分析质量数为1~80。程控排气台设计合理,操作简便,计算机控制技术精细了工艺过程控制量,排除了人为因素,其性能稳定可靠,可满足使用要求。
关键词
无油超高真空系统
真空
度
程控工艺
Keywords
oil free high vacuum system
vacuum degree
programmed control
分类号
TP273 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
TB751 [一般工业技术—真空技术]
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职称材料
题名
在70m^3容器中获得5×10^(-8)Pa 的超高真空
被引量:
1
3
作者
邹定忠
陈欣昔
机构
北京卫星环境工程研究所
出处
《航天器环境工程》
1999年第4期17-26,共10页
文摘
KM3设备是一个容积为70m^3的大型空间模拟器。1993年将原来用油扩散泵作为主抽气泵的有油抽气系统改造成为用制冷机低温泵的无油抽气系统,并将系统的空载极限真空由9.3×10^(-7)Pa 提高到5×10^(-8)Pa。该系统不仅填补了国内新一代大型无油超高真空系统的空白,而且在国际上也属领先水平。在设计中采用了分压强的概念,深入分析了各种气体成分的影响,成功地解决了所遇到的一系列理论和实际问题,为今后无油系统的设计提供了经验。文中详细介绍了按系统内各种不同气体的分压来进行设计的方法和为获得超高真空所采取的主要技术措施。
关键词
无油超高真空系统
制冷机低温泵
Keywords
Cryopumps
oil-free ultrahigh vacuum pumping systems
分类号
V416 [航空宇航科学与技术—航空宇航推进理论与工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
两类无油超高真空系统的实验方法
任多敏
谢 宁
《物理实验》
北大核心
2001
0
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职称材料
2
程控无油超高真空排气台的研制
米伦
李晓勇
王远
李建
《真空与低温》
2005
3
下载PDF
职称材料
3
在70m^3容器中获得5×10^(-8)Pa 的超高真空
邹定忠
陈欣昔
《航天器环境工程》
1999
1
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职称材料
已选择
0
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