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等离子体辅助沉积大口径无漂移平板偏振膜
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作者 赵元安 杨向东 +1 位作者 孔明东 付雄鹰 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2001年第4期250-253,共4页
报道了用等离子体辅助 (Plasma IAD)沉积技术镀制中心波长在 10 5 4nm的大口径 (大于 0 .9m2 )无漂移偏振膜 ,经高温高湿处理后 ,中心波长的漂移小于 1nm。
关键词 激光系统 等离子体辅助沉积 无漂移偏振膜 波长漂移
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