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用无衍射光子束写入细微图形的CAM技术 被引量：1
1
作者 余建国 余重秀 +1 位作者 裴文 徐大雄 《光子学报》 EI CAS CSCD 1997年第6期513-515,共3页
本文提出了用无衍射光子束写入细微图形的新方法，从理论上论证了无衍射光子束的生成机理．设计了无衍射光子束的发生装置．介绍了已研制成功的CAM光刻机．
关键词 无衍射光子束 细微图形 CAM光刻机
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