SiC晶须的结晶性研究

采用固-液-气(VLS)法,在无限微热源炉中成功地合成了碳化硅晶须(SiCw),运用SEM,XRD,EDS等分析检测技术对SiCw的形态和显微结构进行研究。在制备出的SiCw产物中,出现不同形态的晶须形貌,除了细长均匀的碳化硅晶须外,还出现了各种其它不规则形状的晶须。通过分析,不规则形状的晶须也为SiCw。