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日矿材料:将薄型显示板用ITO靶产能增加一倍
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作者 张祖力 《功能材料信息》 2004年第2期62-62,共1页
据报道,新日矿集团下属的日矿材料公司到明年3月将使液晶板、等离子体显示板等薄型显示板所使用的ITO(铟锡氧化物)飞溅涂膜靶的制造能力提高到月产30吨,比现在增加一倍。投资额约20亿日元。
关键词 薄型显示板 ITO靶 生产能力 投资 日矿材料公司 中国 台湾省
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高纯钛靶表面处理技术开发 被引量:3
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作者 吴全兴 《稀有金属快报》 CSCD 2004年第12期40-41,共2页
关键词 高纯钛溅射靶 表面处理 热处理 硅化物膜 日矿材料公司 表面粗糙度
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