移相干涉测量中的抗振技术综述

移相干涉术是一种高灵敏度的非接触式光学测量方法。该方法在光学表面测量、形变测量等许多方面被广泛应用。然而环境振动对该方法的测量结果可能产生不可忽视的影响,包括造成条纹抖动、干涉图模糊等现象。为了解决这个问题,提高移相干涉测量结果的稳定性,干涉测量中的抗振技术应运而生。本文将抗振技术分为主动与被动两大类,主动抗振旨在隔振,即削弱传播至干涉系统的振动信号强度;被动抗振旨在消振,即消除振动对干涉测量造成的影响。被动抗振技术种类繁多,本文从帧数和实时性两个方面出发,将已有的被动移相干涉抗振技术进行分类介绍并对比,并对移相干涉测量抗振技术的发展方向进行了阐述。