用Visual Basic 6.0编程实现显微图像测量

Visual Basic 6.0具有强大的图形图像处理功能,并广泛应用于图形设计、图像处理及多媒体技术中。本文着重介绍了Visual Basic 6.0在实现显微图像测量中的编程技术,并应用于半导体芯片尺寸测量。

显微环境下运动颗粒图像测量系统研究

针对运动颗粒测量的需要,确立了测量原理,研制了检测芯片。重点分析了显微环境下颗粒成像的各种光学性能,包括系统的基本参数,系统动态成像性能,景深以及检测芯片对颗粒成像的影响,在此基础上,本文总结了运动颗粒检测系统的光学设计要求,并给出了运动颗粒的图像测量平台的配置。

基于图像矩函数的图像清晰度评价方法

自动调焦作为显微图像测量中的关键技术,其核心为图像清晰度评价函数。现有图像清晰度评价函数在对焦目标与背景的对比度较低时,评价曲线极易失去其理想特性,或灵敏度下降,造成聚焦精度的降低;或出现多个局部极值,造成调焦失败。针对这一问题,在分析离焦图像成像原理的基础上,提出一种新的基于图像矩的图像清晰度评价函数,并给出定义。新的评价函数由不同阶的图像矩加权构成,通过调节权重系数可以灵活控制评价函数的灵敏度和抗噪性。通过微小透明球体的显微图像序列对新的评价函数进行实验验证,并和4种常用评价函数进行分析比较。实验结果证明,在低对比度条件下,相对于其他4种常用评价函数,基于图像矩的图像清晰度评价函数在有效保持了如单峰性、无偏性等理想曲线特性的同时,在灵敏度及抗噪性方面也具有明显优势。