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题名显微条纹投影小视场三维表面成像技术综述
被引量:14
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作者
王永红
张倩
胡寅
王欢庆
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机构
合肥工业大学仪器科学与光电工程学院
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出处
《中国光学》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2021年第3期447-457,共11页
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基金
国家重点研发计划(No.2016YFF0101803)
国家自然科学基金资助项目(No.51805137)。
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文摘
智能制造不断向着精密化、微型化、集成化的方向发展,具有代表性的集成电路技术及其衍生出的MEMS等微型传感器技术等得以迅猛发展,快速精确地获取微型器件表面信息并进行缺陷检测对于集成电路和MEMS等产业发展具有重要意义。基于结构光的条纹投影技术具有非接触、高精度、高效率、全场测量等优点,在精密测量中发挥着重要的作用。近年来,显微条纹投影测量系统,包括其光学系统结构,系统标定,相位获取以及三维重建方法等各个方面取得了重大发展。本文回顾了显微条纹投影三维测量系统的结构原理,分析了不同于传统投射模型的小视场系统标定问题,介绍了显微投影系统结构发展过程,同时对由系统结构以及金属测量时造成的反光问题进行了分析,在此基础上,对显微条纹投影三维测量系统的发展前景进行了展望。
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关键词
小视场测量
三维重建
显微条纹投影
高动态范围技术
系统标定
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Keywords
small visual field measurement
3D reconstruction
microscopic fringe projection profilometry
high dynamic range technology
calibration
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分类号
TP391
[自动化与计算机技术—计算机应用技术]
TP274.5
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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