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高能电子和正电子在晶体沟道中的辐射 被引量:1
1
作者 张勇 姚淑德 +1 位作者 周生强 刘广智 《原子核物理评论》 CAS CSCD 2000年第4期240-242,共3页
介绍了高能电子和正电子在晶体中的沟道辐射 ,对超相对论电子和正电子在周期弯曲晶体中的相干辐射进行了分析 ,并提出了初步的实验设想 .
关键词 晶体沟道 辐射 高能电子 正电子
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弯转晶体沟道技术用于束流引出
2
作者 爱民 《高能物理参考资料》 1998年第2期16-17,共2页
关键词 粒子束流 束流动力学 弯转晶体 晶体沟道
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多沟道碳纳米晶体管SPICE模型与环形振荡器设计
3
作者 张旭琛 戴庆元 +2 位作者 张亚非 彭敏 杜涛 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 2011年第4期354-358,共5页
针对多沟道碳纳米晶体管(MC-CNTFET)越来越接近实用化的发展现状,提出了一种多沟道碳纳米晶体管的集成电路仿真SPICE(Simulation program with integrated ciruit emphasis)模型,并基于此模型,对用多沟道碳纳米晶体管构成的环形振荡器... 针对多沟道碳纳米晶体管(MC-CNTFET)越来越接近实用化的发展现状,提出了一种多沟道碳纳米晶体管的集成电路仿真SPICE(Simulation program with integrated ciruit emphasis)模型,并基于此模型,对用多沟道碳纳米晶体管构成的环形振荡器进行了分析。结果表明,该模型能够很好地模拟多沟道碳纳米晶体管的电学特性,进一步分析表明,基于50 nm多沟道碳纳米晶体管环形振荡器的振荡频率可达90 GHz,显示出多沟道碳纳米晶体管电路具有很大的性能优势。 展开更多
关键词 碳纳米管 碳纳米晶体 环形振荡器
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新型垂直沟道的NPN型偶载场效应晶体管的设计及特性
4
作者 任永玲 于理科 +1 位作者 李国辉 姬成周 《北京师范大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2003年第1期63-66,共4页
研制了一种新模式的半导体场效应晶体管——垂直沟道的偶载场效应晶体管(VDCFET) ,这种结构可以避免现有光刻技术的制约 ,使用常规的半导体双极晶体管工艺 ,既可把有效沟道长度减短 ,大大提高器件的速度 ,又可将电源电压降低到小于 1 V... 研制了一种新模式的半导体场效应晶体管——垂直沟道的偶载场效应晶体管(VDCFET) ,这种结构可以避免现有光刻技术的制约 ,使用常规的半导体双极晶体管工艺 ,既可把有效沟道长度减短 ,大大提高器件的速度 ,又可将电源电压降低到小于 1 V,大幅度降低功耗 ,改进其电学性能 .本器件可应用于高频电路、D触发器、环振电路及反相器等重要电路 .从纵向和横向报道了器件的设计思想 ,并给出了器件特性的测量结果 . 展开更多
关键词 垂直的偶载场效应晶体 系统级芯片 有效长度
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伯克利短沟道绝缘栅场效应晶体管模型的研究进展 被引量:1
5
作者 刘芳 陈燕宁 +4 位作者 李建强 付振 袁远东 张海峰 唐晓柯 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2018年第1期15-23,共9页
随着金属氧化物半导体(MOS)集成电路工艺的飞速发展,体硅金属氧化物半导体场效应晶体管(MOSFET)模型经历了从物理到经验,最后到半经验物理的转变。介绍了以阈值电压和反转电荷为建模基础的伯克利短沟道绝缘栅场效应晶体管模型(BSIM... 随着金属氧化物半导体(MOS)集成电路工艺的飞速发展,体硅金属氧化物半导体场效应晶体管(MOSFET)模型经历了从物理到经验,最后到半经验物理的转变。介绍了以阈值电压和反转电荷为建模基础的伯克利短沟道绝缘栅场效应晶体管模型(BSIM),以及该模型中阈值电压、饱和电流和电容的基本建模理论。回顾了近年来体硅MOSFET BSIM的研究进展,着重从各种模型的优缺点、建模机理和适用范围方面分析了4种最有代表性的BSIM,即BSIM3v3,BSIM4,BSIM5和BSIM6。从模型的发展历史可以看出模型是随着MOSFET尺寸的缩小而不断完善和发展的。最后,对体硅MOSFET的模型发展趋势进行了展望。 展开更多
关键词 伯克利短绝缘栅场效应晶体管模型(BSIM) 阈值电压 饱和电流 电荷密度 夹断电势 电容模型
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短沟道nMOSFET中击穿模式与击穿位置之间的关系及其对可靠性规范的影响
6
《电子产品可靠性与环境试验》 2003年第2期67-67,共1页
关键词 NMOSFET 击穿模式 击穿位置 晶体
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3000V 10A 4H-SiC结型场效应晶体管的设计与制造 被引量:6
7
作者 刘涛 陈刚 +6 位作者 黄润华 柏松 陶永洪 汪玲 刘奥 李赟 赵志飞 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 2016年第3期187-190,共4页
介绍了一种常开型高压4H-SiC JFET的仿真与制造工艺。通过仿真对器件结构和加工工艺进行优化,指导下一步的工艺改进。在N+型4H-SiC衬底上生长掺杂浓度(ND)为1.0×1015 cm-3,厚度为50μm的N-外延层,并采用本实验室开发的SiC JFET工... 介绍了一种常开型高压4H-SiC JFET的仿真与制造工艺。通过仿真对器件结构和加工工艺进行优化,指导下一步的工艺改进。在N+型4H-SiC衬底上生长掺杂浓度(ND)为1.0×1015 cm-3,厚度为50μm的N-外延层,并采用本实验室开发的SiC JFET工艺进行了器件工艺加工。通过测试,当栅极偏压VG=-6V时,研制的SiC JFET可以阻断3 000V电压;当栅极偏压VG=7V、漏极电压VD=3V时,正向漏极电流大于10A,对应的电流密度为100A/cm2。 展开更多
关键词 4H型SiC 垂直结型场效应晶体 槽刻蚀
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基于BSIM⁃CMG紧凑模型的NSFET直流特性建模
8
作者 陈光前 王悦杨 +1 位作者 唐敏 刘伟景 《半导体技术》 CAS 北大核心 2024年第5期442-448,共7页
随着半导体制造工艺技术的发展,纳米片场效应晶体管(NSFET)成为下一代集成电路的核心器件,建立能准确描述NSFET特性的SPICE模型对提高基于NSFET的集成电路设计的成功率和缩短先进工艺的开发周期至关重要。结合Sentaurus TCAD仿真与伯克... 随着半导体制造工艺技术的发展,纳米片场效应晶体管(NSFET)成为下一代集成电路的核心器件,建立能准确描述NSFET特性的SPICE模型对提高基于NSFET的集成电路设计的成功率和缩短先进工艺的开发周期至关重要。结合Sentaurus TCAD仿真与伯克利短沟道绝缘栅场效应晶体管公共多栅(BSIM⁃CMG)紧凑模型,对NSFET进行直流特性建模。使用器件模型提取工具XModel提取器件的直流特性参数,包括单器件参数提取、温度及自热效应参数提取。结果表明,单器件直流特性参数提取平均误差小于5%,温度及自热效应的参数提取结果精准度较好,验证了模型的准确性。最后,构建并验证分组模型与工艺角模型。这些模型能准确描述不同尺寸和工艺波动对NSFET器件特性的影响,为加快高性能、低功耗NSFET的开发提供理论参考和实践指导。 展开更多
关键词 纳米片场效应晶体管(NSFET) TCAD 伯克利短绝缘栅场效应晶体管公共多栅(BSIM⁃CMG)紧凑模型 直流特性 参数提取
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基于石墨烯谐振沟道晶体管的高频纳米机电系统信号读取研究
9
作者 徐跃杭 国云川 +2 位作者 吴韵秋 徐锐敏 延波 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2012年第1期89-95,共7页
结合石墨烯场效应晶体管和机械谐振原理,研究了基于本地背栅石墨烯谐振沟道晶体管(RCT)的高频机械信号直接读取方法.利用机械剥离法获得的石墨烯,提出了一种基于刻蚀技术的器件制备方法,并实现了栅长和栅宽分别为1um的本地背栅RCT.实验... 结合石墨烯场效应晶体管和机械谐振原理,研究了基于本地背栅石墨烯谐振沟道晶体管(RCT)的高频机械信号直接读取方法.利用机械剥离法获得的石墨烯,提出了一种基于刻蚀技术的器件制备方法,并实现了栅长和栅宽分别为1um的本地背栅RCT.实验结果表明,在室温下RCT的谐振频率范围为57.5-88.25 MHz.研究结果对加速石墨烯纳米机电系统和高频低噪声器件的应用有着重要作用. 展开更多
关键词 石墨烯 谐振晶体 纳米机电系统
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A Novel Ultra-Thin Channel Poly-Si TFT Technology 被引量:2
10
作者 张盛东 韩汝琦 +2 位作者 关旭东 刘晓彦 王阳元 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第4期317-324,共8页
A novel low temperature poly\|Si(LTPS) ultra\|thin channel thin film transistor (UTC\|TFT) technology is proposed. The UTC\|TFT has an ultra\|thin channel region (30nm) and a thick drain/source region (300nm). The ult... A novel low temperature poly\|Si(LTPS) ultra\|thin channel thin film transistor (UTC\|TFT) technology is proposed. The UTC\|TFT has an ultra\|thin channel region (30nm) and a thick drain/source region (300nm). The ultra\|thin channel region that can result in a lower grain\|boundary trap density in the channel is connected to the heavily\|doped thick drain/source region through a lightly\|doped overlapped region. The overlapped lightly\|doped region provides an effective way for the electric field to spread in the channel near the drain at high drain biases, thereby reducing the electric field there significantly. Simulation results show the UTC\|TFT experiences a 50% reduction in peak lateral electric field compared to that of the conventional TFT. With the low grain\|boundary trap density and low drain electric field, excellent current saturation characteristics and high drain breakdown voltage are achieved in the UTC\|TFT. Moreover, this technology provides the complementary LTPS\|TFTs with more than 2 times increase in on\|current, 3.5 times reduction in off\|current compared to the conventional thick channel LTPS TFTs. 展开更多
关键词 TFT poly\|silicon kink\|effect ultra\|thin channel
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1200V常开型4H-SiC VJFET 被引量:3
11
作者 倪炜江 李宇柱 +5 位作者 李哲洋 李赟 管邦虎 陈征 柏松 陈辰 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 2011年第2期103-106,共4页
用沟槽和离子注入方法在自主外延的4H导通型碳化硅晶圆上研制了垂直沟道结型场效应晶体管(VJFET)。在栅电压VG=-10 V时阻断电压达到1 200 V;在VG=2.5 V,VD=2V时的电流密度为395 A/cm2,相应的比导通电阻为5.06 mΩ·cm2。分析发现欧... 用沟槽和离子注入方法在自主外延的4H导通型碳化硅晶圆上研制了垂直沟道结型场效应晶体管(VJFET)。在栅电压VG=-10 V时阻断电压达到1 200 V;在VG=2.5 V,VD=2V时的电流密度为395 A/cm2,相应的比导通电阻为5.06 mΩ·cm2。分析发现欧姆接触电阻是导通电阻的重要组成部分,改善欧姆接触可以进一步降低导通电阻。 展开更多
关键词 4H碳化硅 常开型 垂直结型场效应晶体 比导通电阻
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高压SiC JFET研究进展
12
作者 陈刚 柏松 +4 位作者 李赟 陶然 刘奥 杨立杰 陈堂胜 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 2013年第3期224-227,283,共5页
利用自主生长的SiC外延材料,采用干法刻蚀μm级密集深槽工艺技术和高能、高剂量离子注入结合高温激活退火方法,进行SiC电力电子JFET器件的开发,研制出常开型、常关型SiC JFET器件,反向阻断电压都达到1 700V,正向电流达3.5A。常开型JFET... 利用自主生长的SiC外延材料,采用干法刻蚀μm级密集深槽工艺技术和高能、高剂量离子注入结合高温激活退火方法,进行SiC电力电子JFET器件的开发,研制出常开型、常关型SiC JFET器件,反向阻断电压都达到1 700V,正向电流达3.5A。常开型JFET的夹断电压在-1.7V,最大跨导Gm为0.52S,比导通电阻最小到4.6mΩ.cm2;常关型JFET的夹断电压在0.9V,最大跨导Gm为1.07S,比导通电阻最小到4.2mΩ.cm2。常开型与常关型器件的栅流开启时栅电压差距小,常开型VG=3.5V时,栅流开始出现,常关型VG=3.3V时,栅流开始出现。 展开更多
关键词 碳化硅 电力电子 垂直结型场效应晶体
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A New Method for InGaAs/InP Composite Channel HEMTs Simulation
13
作者 刘亮 张海英 +4 位作者 尹军舰 李潇 徐静波 宋雨竹 刘训春 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第11期1706-1711,共6页
A new method is used to simulate InGaAs/InP composite channel high electron mobility transistors (HEMTs). By coupling the hydrodynamic model and the density gradient model, the electron density distribution in the c... A new method is used to simulate InGaAs/InP composite channel high electron mobility transistors (HEMTs). By coupling the hydrodynamic model and the density gradient model, the electron density distribution in the channel in different electric fields is obtained. This method is faster and more robust than traditional meth- ods and should be applicable to other types of HEMTs simulations. A detailed study of the InGaAs/InP composite channel HEMTs is presented with the help of simulations. 展开更多
关键词 InP INGAAS composite channel HEMTS SIMULATION
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Channel Lateral Pocket or Halo Region of NMOSFET Characterized by Interface State R G Current of the Forward Gated Diode
14
作者 何进 黄爱华 +1 位作者 张兴 黄如 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第7期826-831,共6页
The channel lateral pocket or halo region of NMOSFET characterized by interface state R G current of a forward gated diode has been investigated numerically for the first time.The result of numerical analysis demons... The channel lateral pocket or halo region of NMOSFET characterized by interface state R G current of a forward gated diode has been investigated numerically for the first time.The result of numerical analysis demonstrates that the effective surface doping concentration and the interface state density of the pocket or halo region are interface states R G current peak position dependent and amplitude dependent,respectively.It can be expressed quantitatively according to the device physics knowledge,thus,the direct characterization of the interface state density and the effective surface doping concentration of the pocket or halo becomes very easy. 展开更多
关键词 forward gated diode R G current MOSFET pocket or halo implant region interface states effective surface doping concentration
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Strained Si-Channel Heterojunction n-MOSFET 被引量:1
15
作者 史进 黄文涛 陈培毅 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第7期685-689,共5页
The process parameters are adjusted and the process procedure is simplified on the basis of precursor's work and the strained Si channel SiGe n MOSFET is fabricated successfully.This n MOSFET takes the strained... The process parameters are adjusted and the process procedure is simplified on the basis of precursor's work and the strained Si channel SiGe n MOSFET is fabricated successfully.This n MOSFET takes the strained Si layer(which is deposited on the relaxed SiGe buffer layer) as current channel and can provide a 48 5% improvement in electron mobility while keeping the gate voltage as 1V. 展开更多
关键词 STRAIN SIGE TRANSCONDUCTANCE MOBILITY
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一种PMOS管传输型高效电荷泵电路设计 被引量:1
16
作者 李珂 郭晓宇 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 2012年第1期95-99,共5页
设计了一种基于传统Dickson结构的PMOS管传输型电荷泵电路。电路通过衬底电位跟随器实现PMOS管传输,避免了传输过程中阈值电压损失;通过电阻分压反馈网络、控制振荡器输出达到稳压的目的;在电荷泵不工作时,各个子电路关断,实现低功耗设... 设计了一种基于传统Dickson结构的PMOS管传输型电荷泵电路。电路通过衬底电位跟随器实现PMOS管传输,避免了传输过程中阈值电压损失;通过电阻分压反馈网络、控制振荡器输出达到稳压的目的;在电荷泵不工作时,各个子电路关断,实现低功耗设计。仿真结果表明,电路效率高,上电时间短,纹波小;采用SMIC 0.18μm工艺流片,电路达到设计要求,输出高压稳定,驱动能力强,在1M EEPROM电路芯片中得到实际应用。 展开更多
关键词 电荷泵 衬底电位调制 P金属氧化物半导体晶体
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一种具有辅助耗尽效应的BiCMOS NJFET
17
作者 冯金荣 冯全源 陈晓培 《微电子学》 CAS CSCD 北大核心 2018年第5期682-685,共4页
基于BiCMOS工艺,提出了一种N沟道结型场效应晶体管(NJFET)。该NJFET通过在MOS管的栅极与漏极之间的N阱层上注入P型杂质,形成P型底部埋层(P-BOT)层。利用PBOT层的辅助耗尽效应来避免NJFET过早横向击穿,达到提高NJFET源-漏击穿电压的目的... 基于BiCMOS工艺,提出了一种N沟道结型场效应晶体管(NJFET)。该NJFET通过在MOS管的栅极与漏极之间的N阱层上注入P型杂质,形成P型底部埋层(P-BOT)层。利用PBOT层的辅助耗尽效应来避免NJFET过早横向击穿,达到提高NJFET源-漏击穿电压的目的。采用Sentaurus TCAD软件对该BiCMOS NJFET的击穿电压进行仿真。结果表明,该NJFET的击穿电压达104V,在相同N阱掺杂浓度下,比传统NJFET提高了57.6%。 展开更多
关键词 N结型场效应晶体 降低表面电场 击穿电压 BICMOS
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Impact of Channel Length and Width for Charge Transportation of Graphene Field Effect Transistor
18
作者 Kamal Hosen Md.Rasidul Islam Kong Liu 《Chinese Journal of Chemical Physics》 SCIE CAS CSCD 2020年第6期757-763,I0003,共8页
The effect of channel length and width on the large and small-signal parameters of the graphene field effect transistor have been explored using an analytical approach.In the case of faster saturation as well as extre... The effect of channel length and width on the large and small-signal parameters of the graphene field effect transistor have been explored using an analytical approach.In the case of faster saturation as well as extremely high transit frequency,the graphene field effect transistor shows outstanding performance.From the transfer curve,it is observed that there is a positive shift of Dirac point from the voltage of 0.15 V to 0.35 V because of reducing channel length from 440 nm to 20 nm and this curve depicts that graphene shows ambipolar behavior.Besides,it is found that because of widening channel the drain current increases and the maximum current is found approximately 2.4 mA and 6 mA for channel width 2μm and 5μm respectively.Furthermore,an approximate symmetrical capacitance-voltage(C-V)characteristic of the graphene field effect transistor is obtained and the capacitance reduces when the channel length decreases but the capacitance can be increased by raising the channel width.In addition,a high transconductance,that demands high-speed radio frequency(RF)applications,of 6.4 mS at channel length 20 nm and 4.45 mS at channel width 5μm along with a high transit frequency of 3.95 THz have been found that demands high-speed radio frequency applications. 展开更多
关键词 GRAPHENE Graphene field effect transistor Large signal Small-signal Channel length Channel width
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原位AFM自感应PRC力传感器读数漂移的有源漂移抑制法
19
作者 唐飞扬 谷森 +3 位作者 陈俊 胡志平 孟庆林 汝长海 《半导体技术》 CAS 北大核心 2020年第3期229-235,共7页
为解决面向扫描电子显微镜(SEM)的原位原子力显微镜(AFM)工作时SEM的聚焦电子束引起原位AFM自感应压阻式微悬臂梁(PRC)力传感器读数持续漂移的难题,首先建立原位AFM自感应PRC力传感器的p沟道结型场效应晶体管(JFET)读数漂移模型,分析SE... 为解决面向扫描电子显微镜(SEM)的原位原子力显微镜(AFM)工作时SEM的聚焦电子束引起原位AFM自感应压阻式微悬臂梁(PRC)力传感器读数持续漂移的难题,首先建立原位AFM自感应PRC力传感器的p沟道结型场效应晶体管(JFET)读数漂移模型,分析SEM聚焦电子束对自感应PRC产生干扰的原因;然后提出了基于原位AFM自感应PRC力传感器p沟道JFET模型的有源漂移抑制法,即先对自感应PRC的栅极进行导电连接,再通过控制施加在自感应PRC栅极上的补偿电压消除SEM聚焦电子束对自感应PRC的干扰。实验结果表明,当补偿电压从未施加上升至40 V时,原位AFM自感应PRC力传感器读数的漂移率从约13 nm/min下降到1 nm/min左右,同时对自感应PRC及其信号调理电路均无损伤。该方法能有效消除SEM聚焦电子束对原位AFM自感应PRC力传感器的影响。 展开更多
关键词 有源漂移抑制法 原位原子力显微镜(AFM) 扫描电子显微镜(SEM) 自感应压阻式微悬臂梁(PRC)力传感器 聚焦电子束 p结型场效应晶体管(JFET)模型
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一种PDP扫描驱动芯片的HV-PMOS的研究和实现
20
作者 韩成功 郭清 +3 位作者 韩雁 张斌 张世峰 胡佳贤 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 2010年第3期436-440,共5页
对一种适用于106.68cm PDP扫描驱动IC的HV-PMOS器件进行了分析研究。通过使用TCAD软件对HV-PMOS进行了综合仿真,得到了器件性能最优时的结构参数及工艺参数。HV-PMOS器件及整体扫描驱动IC在杭州士兰集成电路公司完成流片。PCM(Process c... 对一种适用于106.68cm PDP扫描驱动IC的HV-PMOS器件进行了分析研究。通过使用TCAD软件对HV-PMOS进行了综合仿真,得到了器件性能最优时的结构参数及工艺参数。HV-PMOS器件及整体扫描驱动IC在杭州士兰集成电路公司完成流片。PCM(Process control module)片上的HV-PMOS击穿电压达到了185V,阈值为6.5V。整体扫描驱动芯片的击穿电压达到了180V,满足了设计要求。 展开更多
关键词 高压P金属氧化物场效应晶体 半导体工艺及器件模拟工具 等离子扫描驱动芯片 双极-互补金属氧化物场效应晶体管-双扩散金属氧化物场效应晶体管工艺
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