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晶体生长炉控制柜和中频加热电源的开发 被引量:1
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作者 彭加荣 冯安 李晓波 《东方电气评论》 2002年第4期197-200,共4页
介绍JTL - 4 0 0A型晶体生长炉电气控制柜、KGPF2 5 - 0 3- 2 5型中频加热电源的开发设计及应用 。
关键词 晶体生长炉控制柜 中频加热电源 JTL-400A型 KGPF25-0.3-2.5型
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