半导体研磨液的研究及应用

研磨是半导体加工过程中的一项重要工艺,它主要是应用化学研磨液混配磨料的方式精密而高效的对半导体表面进行加工,研磨液是影响半导体表面质量的重要因素。本文着重对研磨液的机理、研究开发现状、应用展望进行探讨。