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Fuzzy-PID复合控制在单晶硅等径生长中的应用 被引量：2
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作者 陈琦 王新房 丁积军 《测控技术》 CSCD 2001年第3期35-36,共2页
单晶硅晶体生长炉具有非线性和大纯滞后的特点 ,应用常规PID控制难以实现有效控制。采用Fuzzy- PID复合控制模型 ,在Windows平台下实现了有效的控制 。
关键词 单晶硅晶体 晶体等径生长 模糊控制 复合控制 PID控制
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