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300mm离子注入机靶室晶圆传输控制系统设计
被引量:
2
1
作者
谢均宇
杨亚兵
孙勇
《电子工业专用设备》
2010年第5期26-29,37,共5页
在实现了高效晶圆传输全自动控制的基础上,阐述了靶室晶圆传送系统运动部件的结构和各自的功能;介绍了整个晶圆传输控制系统的设计思路,在采用高性能多轴运动控制卡和机械手模块的硬件基础上,引用了有限状态机对系统软件进行了智能化模...
在实现了高效晶圆传输全自动控制的基础上,阐述了靶室晶圆传送系统运动部件的结构和各自的功能;介绍了整个晶圆传输控制系统的设计思路,在采用高性能多轴运动控制卡和机械手模块的硬件基础上,引用了有限状态机对系统软件进行了智能化模型设计。
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关键词
晶圆传送系统
自动控制
机械手
TURBO
PMAC
有限状态机
下载PDF
职称材料
题名
300mm离子注入机靶室晶圆传输控制系统设计
被引量:
2
1
作者
谢均宇
杨亚兵
孙勇
机构
北京中科信电子装备有限公司
出处
《电子工业专用设备》
2010年第5期26-29,37,共5页
文摘
在实现了高效晶圆传输全自动控制的基础上,阐述了靶室晶圆传送系统运动部件的结构和各自的功能;介绍了整个晶圆传输控制系统的设计思路,在采用高性能多轴运动控制卡和机械手模块的硬件基础上,引用了有限状态机对系统软件进行了智能化模型设计。
关键词
晶圆传送系统
自动控制
机械手
TURBO
PMAC
有限状态机
Keywords
Wafer Transmitter
Ion Implanter
分类号
TN305.3 [电子电信—物理电子学]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
300mm离子注入机靶室晶圆传输控制系统设计
谢均宇
杨亚兵
孙勇
《电子工业专用设备》
2010
2
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职称材料
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