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基于机器视觉的探针台晶圆偏移角度检测方法
被引量:
7
1
作者
刘洪
苏中
+1 位作者
万承军
尹力
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2018年第12期87-90,共4页
为了保证探针台的芯片检测效率和精度,需要提高探针台晶圆定位精度。因此,提出一种基于机器视觉的探针台晶圆偏移角度检测方法。通过灰度化、双边滤波、归一化、Canny边缘检测和最大连通域获取,得到晶圆芯片外围边缘,通过最小外接矩形...
为了保证探针台的芯片检测效率和精度,需要提高探针台晶圆定位精度。因此,提出一种基于机器视觉的探针台晶圆偏移角度检测方法。通过灰度化、双边滤波、归一化、Canny边缘检测和最大连通域获取,得到晶圆芯片外围边缘,通过最小外接矩形法计算晶圆偏移角度。经实验验证,晶圆偏移角度检测误差<0. 03°,满足晶圆定位精度要求。
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关键词
探针台
机器视觉
晶圆偏移角度
双边滤波
CANNY边缘检测
最小外接矩形
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职称材料
题名
基于机器视觉的探针台晶圆偏移角度检测方法
被引量:
7
1
作者
刘洪
苏中
万承军
尹力
机构
北京信息科技大学
北京航天长征飞行器研究所
西南技术物理研究所
出处
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2018年第12期87-90,共4页
基金
北京市科技计划课题(Z161100003016011)
北京理工大学智能机器人与系统高精尖创新中心项目
高动态导航技术北京市重点实验室开放课题(HDN2017002).
文摘
为了保证探针台的芯片检测效率和精度,需要提高探针台晶圆定位精度。因此,提出一种基于机器视觉的探针台晶圆偏移角度检测方法。通过灰度化、双边滤波、归一化、Canny边缘检测和最大连通域获取,得到晶圆芯片外围边缘,通过最小外接矩形法计算晶圆偏移角度。经实验验证,晶圆偏移角度检测误差<0. 03°,满足晶圆定位精度要求。
关键词
探针台
机器视觉
晶圆偏移角度
双边滤波
CANNY边缘检测
最小外接矩形
Keywords
prober system
machine vision
wafer s offset angle
bilateral filtering
Canny edge detection
minimum enclosing rectangle
分类号
TP391 [自动化与计算机技术—计算机应用技术]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于机器视觉的探针台晶圆偏移角度检测方法
刘洪
苏中
万承军
尹力
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2018
7
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