基于机器视觉的探针台晶圆偏移角度检测方法

为了保证探针台的芯片检测效率和精度,需要提高探针台晶圆定位精度。因此,提出一种基于机器视觉的探针台晶圆偏移角度检测方法。通过灰度化、双边滤波、归一化、Canny边缘检测和最大连通域获取,得到晶圆芯片外围边缘,通过最小外接矩形法计算晶圆偏移角度。经实验验证,晶圆偏移角度检测误差<0. 03°,满足晶圆定位精度要求。