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晶圆厂信息控制系统介绍 被引量：1
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作者 周炳君 《电子工业专用设备》 2010年第3期43-46,共4页
信息控制系统(FICS)的集成是晶圆厂生产线集成的主要内容之一。介绍了65nm级别用于生产微处理器(Microprocessor)的300mm FAB的FICS架构实例,并就系统集成做了简单的描述,对制造执行系统MES和设备集成系统EI的客户化作了探讨,并介绍了E... 信息控制系统(FICS)的集成是晶圆厂生产线集成的主要内容之一。介绍了65nm级别用于生产微处理器(Microprocessor)的300mm FAB的FICS架构实例,并就系统集成做了简单的描述,对制造执行系统MES和设备集成系统EI的客户化作了探讨,并介绍了EI部分的架构。 展开更多
关键词 晶圆厂生产线 信息控制系统 软件集成 制造执行系统 设备集成系统 300 mm国际标准:客户化
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