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先进ATHENA^(TM)选用策略与对准功能(英文)
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作者 程天风 Jeroen Huijbregtse +1 位作者 Richard van Haren André Jeunink 《电子工业专用设备》 2004年第2期28-35,共8页
基于先进科技对准规格的减缩,对准仪量测数据的应用也变得更为重要。不同对准策略的选择所引起的结果,对全部对准预算有很重要的影响。介绍两个主要科技研发项目:先进对准配套和对准标的设计。
关键词 对准系统 多组光栅标 化学机械抛光 晶圆对位
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