针对键合晶圆的视觉与机械夹持预对准方法设计

在曝光设备中,预对准先将晶圆进行中心定位和角度找正,经过预对准的晶圆传送到工作台中方向及位置一致,保证设备稳定运行。为能满足键合晶圆的预对准要求,采用视觉与机械夹持的方式,设计预对准结构,获得键合晶圆的兼容性,保证设备对键合晶圆的稳定运行。