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基于普通F-Theta透镜与远心F-Theta透镜的晶圆标识工艺的研究
1
作者
舒天娇
杜远超
+6 位作者
李国旗
陈媛
张玲玲
马永新
高垠芮
胡豪威
陈宇
《应用激光》
CSCD
北大核心
2023年第2期93-98,共6页
为研究聚焦系统对晶圆标识工艺的影响,搭建以1 066 nm的声光调Q脉冲光纤激光器为光源,分别使用普通F-Theta透镜和远心F-Theta透镜的晶圆激光打标系统,使用相同的工艺参数分别在晶圆表面进行点阵标识,研究两种聚焦系统下晶圆的烧蚀阈值...
为研究聚焦系统对晶圆标识工艺的影响,搭建以1 066 nm的声光调Q脉冲光纤激光器为光源,分别使用普通F-Theta透镜和远心F-Theta透镜的晶圆激光打标系统,使用相同的工艺参数分别在晶圆表面进行点阵标识,研究两种聚焦系统下晶圆的烧蚀阈值、离焦效果和点的形貌。采用白光干涉仪对晶圆标识区域的三维形貌进行评估,研究发现普通F-Theta透镜与远心F-Theta透镜对晶圆的烧蚀阈值的影响区别不大。在离焦效果方面,普通F-Theta透镜随着离焦量增加,标识点直径逐渐变小;而远心F-Theta透镜随着离焦量增加,标识点直径先增大后减小。在打标范围内的标识质量方面,两者在打标范围中心的标识质量基本相当,离中心越远,远心透镜也未能表现出更好的标识形貌。
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关键词
F-Theta透镜
远心F-Theta透镜
晶圆标识
烧蚀阈值
离焦量
原文传递
题名
基于普通F-Theta透镜与远心F-Theta透镜的晶圆标识工艺的研究
1
作者
舒天娇
杜远超
李国旗
陈媛
张玲玲
马永新
高垠芮
胡豪威
陈宇
机构
上海市激光技术研究所
上海激光直接物标溯源工程技术研究中心
东华大学理学院
出处
《应用激光》
CSCD
北大核心
2023年第2期93-98,共6页
基金
上海市科学技术委员会科研计划项目(19511130500)。
文摘
为研究聚焦系统对晶圆标识工艺的影响,搭建以1 066 nm的声光调Q脉冲光纤激光器为光源,分别使用普通F-Theta透镜和远心F-Theta透镜的晶圆激光打标系统,使用相同的工艺参数分别在晶圆表面进行点阵标识,研究两种聚焦系统下晶圆的烧蚀阈值、离焦效果和点的形貌。采用白光干涉仪对晶圆标识区域的三维形貌进行评估,研究发现普通F-Theta透镜与远心F-Theta透镜对晶圆的烧蚀阈值的影响区别不大。在离焦效果方面,普通F-Theta透镜随着离焦量增加,标识点直径逐渐变小;而远心F-Theta透镜随着离焦量增加,标识点直径先增大后减小。在打标范围内的标识质量方面,两者在打标范围中心的标识质量基本相当,离中心越远,远心透镜也未能表现出更好的标识形貌。
关键词
F-Theta透镜
远心F-Theta透镜
晶圆标识
烧蚀阈值
离焦量
Keywords
F-Theta len
telecentric F-Theta len
wafer identification
ablation threshold
defocus amount
分类号
O436 [机械工程—光学工程]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于普通F-Theta透镜与远心F-Theta透镜的晶圆标识工艺的研究
舒天娇
杜远超
李国旗
陈媛
张玲玲
马永新
高垠芮
胡豪威
陈宇
《应用激光》
CSCD
北大核心
2023
0
原文传递
已选择
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