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晶圆检测设备产业的现状、挑战与发展趋势研究
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作者 彭荣超 《中国设备工程》 2023年第7期174-176,共3页
晶圆检测作为半导体制造的重要流程,对改进设计和生产、封装测量技术,提高产品质量和良率起着重要作用。本文阐述了晶圆检测设备行业的发展状况,探讨了行业面临挑战和困境,提出了晶圆检测设备行业发展的展望。
关键词 晶圆检测设备 半导体制造 行业现状
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