超声波清洗液控制系统研究

介绍了一种超声波清洗液系统的控制原理与方法。该控制系统一般用于晶圆清洗设备,通过软件方法实现对各种功能的控制,保障了晶圆在超声波清洗过程中的清洁效果,同时也提升了设备的安全和稳定性。