基于离焦模糊参数估计的晶圆离焦图像复原

通过高分辨率晶圆离焦图像获得点扩散函数的离焦模糊参数存在计算量大,复原效率低等问题,为此提出了一种基于光斑图像计算离焦模糊参数的晶圆离焦图像复原方法。首先,对光斑图像进行灰度投影,获取线扩散函数曲线;其次,对线扩散函数曲线进行拟合校正,以获得离焦模糊参数,从而确定点扩散函数;最后,采用二次维纳滤波算法对晶圆离焦图像进行复原。实验结果表明,所提出的估计离焦模糊参数的二次维纳滤波方法对晶圆离焦图像进行复原,能够显著提高晶圆离焦图像的峰值信噪比(PSNR),至少提升了0.74 dB,减轻晶圆离焦图像的模糊程度,突显出图像的细节信息,并且计算量小,从而提高复原效率。