具有散热结构的晶圆级扇出封装电路热阻研究

为了改善芯片的散热状况,提高微系统的工作效率,对晶圆级扇出封装电路的传热性能展开了研究。发现粘接散热片能够将封装电路的表观热阻降低28.43%,大大地提高封装电路的运行速率。同时,热学仿真表明,添加散热片后,封装电路的计算热阻大幅下降。通过对比分析实验结果与仿真结果发现,散热片与芯片之间的粘结情况直接影响散热片的作用效果,粘接区域的空洞会使得测试结果与仿真结果存在较大偏差。

一种基于扇出晶圆级封装技术的控制模块设计

随着摩尔定律放缓,各种先进封装技术成为半导体产业的重要研究内容。同时,这些技术也为系统工程师们如何实现定制电路小型化提供了更多样的选择。在对已有SiP技术研究的基础上,基于国内工艺线,尝试使用扇出晶圆级封装技术实现一款控制模块,为该技术在数模混合系统小型化中的应用提供参考。

嵌入TMV转接板的扇出型三维封装集成技术研究

本文研究了一种嵌入TMV转接板的晶圆级扇出型封装技术,并成功应用于三维封装集成中。该技术首先通过热机械仿真对重构晶圆的翘曲及封装体的应力分布情况进行模拟;之后通过机械打孔、电镀等工艺制备尺寸、阵列数量均可定制化设计的独立TMV转接板。将TMV转接板与芯片通过晶圆级封装中的塑封、减薄、再布线、BGA植球等工艺制备具有双面再布线的封装体;然后通过倒装回流焊工艺将不同封装体的焊球与焊盘互相连接构筑三维集成封装体,以进一步拓展在三维集成中的应用,SEM图像和通断测试结果说明上述封装体具备良好的互连特性;最后对三维集成封装体进行了可靠性测试,优良的电性能结果表明封装体具备高可靠性。三维集成封装工艺的开发和可靠性试验表明嵌入TMV转接板的三维封装集成工艺稳定可靠,为三维集成提供了新的解决方案。

封装技术在5G时代的创新与应用

5G时代的到来将通信系统的工作频段推入毫米波波段,这给毫米波器件的封装带来了挑战.5G系统需要将射频、模拟、数字功能和无源器件以及其他系统组件集成在一个封装模块中,这个要求恰恰体现了异质异构集成的特征.在所有的异质异构集成解决方案中,2.5D/3D系统级封装(System in Package,SiP)因其高度集成化被视为解决5G系统封装的重要突破口.文章以SiP为切入口,着重介绍了未来5G封装发展重点的2.5D/3D SiP技术以及目前备受瞩目的Chiplet技术.基于5G毫米波器件的系统级封装解决方案,探讨了适用于毫米波器件封装的基板材料以及SiP所需的先进封装技术.最后,针对5G天线模块的封装,介绍了片上天线和封装天线两种解决方案.