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题名半导体晶圆车间的成本控制方法
被引量:3
- 1
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作者
俞静
钱省三
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机构
上海理工大学工业工程研究所/微电子发展研究中心
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出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2003年第8期11-14,45,共5页
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文摘
由于市场对专用集成电路需求的猛增,大多数半导体企业都已采用面向订单的混合生产方式,其车间设施具有一定的柔性,能同时生产多种类型的晶圆;再加上CIM与价格昂贵、自动化程度极高的晶圆加工设备的广泛运用,引起了晶圆车间成本构成中直接人工费用大幅度减少和间接费用呈多样化巨增,因此晶圆制造车间已开始改变为从工程学、技术层面去把握成本信息,以工程经济学的方法对成本进行预测、监控,因为在晶圆制造车间中,成本绝非单纯是会计帐簿上的产物,而是在制造过程中的逐道工序中产生的。
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关键词
半导体
晶圆车间
成本控制方法
工业工程
设备效率
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Keywords
Cost Controlling
Wafer Fab
Industry Engineering
Equipment Efficiency
Yield
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分类号
TN305.1
[电子电信—物理电子学]
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题名晶圆车间搬举作业环境的工效学评估与改善
被引量:2
- 2
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作者
宗涛
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机构
西安科技大学机械工程学院
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出处
《工业工程与管理》
北大核心
2011年第6期69-74,共6页
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基金
陕西省教育厅科研究计划研究课题(09JK573)项目资助
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文摘
针对半导体企业晶圆生产车间作业人员中,普遍存在的肌肉骨骼劳损问题,基于典型晶圆车间掩膜加工区域的物料搬运过程,展开作业人员日常作业的搬举分析,识别出作业环境设计所造成的作业者肌肉骨骼劳损风险因素,并有针对性地提出作业设施的改善设计方案。仿真实验结果说明,改善实施方案能够有效改善作业者的作业环境,缓解产生肌肉骨骼劳损的风险。车间现场的局部应用也验证了其可行性与有效性。
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关键词
晶圆车间
搬举作业
肌肉骨骼劳损
作业环境
CATIA
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Keywords
wafer fabrication
lifting operation
work-related musculoskeletal symptoms
operation environment
CATIA
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分类号
TP391.9
[自动化与计算机技术—计算机应用技术]
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题名半导体晶圆制造车间层控制的内容及方法
被引量:3
- 3
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作者
邵志芳
钱省三
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机构
上海理工大学工业工程研究所微电子发展研究中心
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出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2003年第9期48-51,共4页
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文摘
半导体晶圆制造企业是资本密集、技术密集型产业,晶圆制造厂也是公认生产最为复杂的工厂之一。产品更新换代快、市场竞争激烈等特点使得投资者对设备产能和设备利用率高度重视。这已不仅仅是技术问题,而是生产制造过程管理的问题。本文介绍了半导体晶圆制造车间层控制的内容及方法。
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关键词
半导体晶圆制造车间
层控制
投料策略
实时调度
生产管理
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Keywords
shop-floor control
input regulation policies
real-time scheduling
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分类号
TN305
[电子电信—物理电子学]
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