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基于光度立体视觉的一体化智能读码器 被引量:2
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作者 王勇 《集成电路应用》 2020年第10期192-194,共3页
开发一款基于光度立体视觉和深度学习的智能读码器,立足于光机电和人工智能算法一体化应用解决方案,有光度立体视觉技术、高分辨率高速视觉采集和处理系统、人工智能处理器模块和人工智能算法等技术。智能读码器可应用于半导体加工过程... 开发一款基于光度立体视觉和深度学习的智能读码器,立足于光机电和人工智能算法一体化应用解决方案,有光度立体视觉技术、高分辨率高速视觉采集和处理系统、人工智能处理器模块和人工智能算法等技术。智能读码器可应用于半导体加工过程中的晶圆ID识别,通过其极高的可靠性自动识别晶圆,最大限度降低了半导体加工工序中人工干预的需求并避免工序停机,从而提升工厂产能。 展开更多
关键词 智能读码器 光度立体视觉 深度学习 晶圆id识别
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