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作为真空控制传感器的智能超高真空计的研制
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作者 徐锡林 刘益敏 +1 位作者 姚传荣 徐为民 《电子技术应用》 北大核心 1998年第7期23-26,共4页
介绍该室研制的作为真空控制传感器的智能冷阴极规管超高真空计。它是根据该室光束线和实验站真空监测、控制和联锁保护功能的特殊要求而研制的。其真空测量范围为5×10-1-5×10-8Pa。采用单片机Intel803... 介绍该室研制的作为真空控制传感器的智能冷阴极规管超高真空计。它是根据该室光束线和实验站真空监测、控制和联锁保护功能的特殊要求而研制的。其真空测量范围为5×10-1-5×10-8Pa。采用单片机Intel8031,使设备结构简单、使用方便、运行可靠、功能可扩。 展开更多
关键词 真空控制传感器 超高真空计 智能冷阴极规管
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