一种新型智能积分仪——剂量处理器

随着大规模集成电路的发展,离子注入机已成为半导体工业中必不可少的设备,其自动化程度的要求越来越高。采用计算机控制必然会带来新的生命力,它可提高注入机的自动化水平,减少人为因素,提高工艺重复性,以及改善操作人员的劳动条件等。人们希望对注入机重复性起着重要作用的部件——积分仪不仅能测量范围宽、精度高。