比值采样法在智能薄膜厚度测量仪中的应用

本文介绍比值采样法在薄膜厚度测量仪的应用,详细叙述了测量系统的组成原理和主要单元电路的设计。通过采用比值采样技术,在不采用高性能元件的前提下,提高系统测量精度。