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应用于暂时粘结、基片保护和MOEMS封装的新型材料
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作者 Paul Williams Dickson Leung Dominic Miranda 《电子工业专用设备》 2005年第5期57-61,共5页
随着微电子制造商持续缩小晶体管基极和其他元件的尺寸,集成电路的密度不断增大,电路连接工艺中开始使用低k介电质和铜导电体。为了进一步提高电路整体性能与射电频率性能、缩小体积、降低电源损耗、提高散热效率,承载电路的基片的厚度... 随着微电子制造商持续缩小晶体管基极和其他元件的尺寸,集成电路的密度不断增大,电路连接工艺中开始使用低k介电质和铜导电体。为了进一步提高电路整体性能与射电频率性能、缩小体积、降低电源损耗、提高散热效率,承载电路的基片的厚度正在持续变薄。常规的工艺已经无法加工先进的超薄基片。为了解决这个工艺中的难题,BrewerScience利用自己先进的材料、工艺、机械设备的研究开发水平,正在开发一套崭新的超薄基片的加工操作流程。介绍用于将超薄基片暂时粘结到另一载体的系列材料和流程,完成加工以后,基片和载体可以很容易地分离。另外,对用于保护基片的新型涂料也进行了介绍。在对基片进行薄化和切割的时候,这种涂料可以对基片提供有效的保护。最后,介绍了高透明高折射材料,这些材料用在高亮度发光二极管(HB-LED)和微光电机械系统(MOEMS)中,可以降低由封装引起的光损耗。 展开更多
关键词 暂时粘结 保护涂层 微光电机械系统 封装 新型材料
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活髓基牙预备后不同的保护方法对粘结力的影响 被引量:2
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作者 韩晓艳 朱洪水 《口腔颌面修复学杂志》 2006年第1期74-77,共4页
近年来国内外许多学者,对影响牙本质粘结效果的因素,进行了广泛的探讨。本文对活髓牙制备后应用的牙本质脱敏剂和含丁香酚的暂时粘结剂,并对其不同粘结剂粘结强度的影响作一综述。
关键词 牙本质脱敏剂 暂时粘结 粘结强度 丁香酚
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