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一种具有高能量分辨率Al_(2)O_(3)钝化结区的PIN探测器
1
作者
孙熙晨
林旭梅
《半导体光电》
CAS
北大核心
2023年第6期857-862,共6页
提出了一种Al_(2)O_(3)钝化结区的PIN探测器,与传统PIN探测器不同的是,在器件正面的pn结和背面的高低结处沉积了10 nm厚的Al_(2)O_(3)薄膜。经TCAD仿真结果表明,该探测器具有更低的漏电流和保护环处的电子电流密度,能对高能粒子射线入...
提出了一种Al_(2)O_(3)钝化结区的PIN探测器,与传统PIN探测器不同的是,在器件正面的pn结和背面的高低结处沉积了10 nm厚的Al_(2)O_(3)薄膜。经TCAD仿真结果表明,该探测器具有更低的漏电流和保护环处的电子电流密度,能对高能粒子射线入射产生良好的响应。设计了两种探测器的制备步骤并制备了器件,通过薄膜少子寿命的表征、器件的暗态I-V测试和^(241)Am元素能谱测试对其进行了评估。测试结果表明,与传统的PIN探测器相比,Al_(2)O_(3)钝化结区的PIN探测器的少子寿命提升至1 061μs,漏电流降低至5 nA,能量分辨率提升至521 eV,表现出更好的探测性能。
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关键词
Al_(2)O_(3)钝化层
PIN探测器
TCAD仿真
暗态漏电流
能量分辨率
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职称材料
题名
一种具有高能量分辨率Al_(2)O_(3)钝化结区的PIN探测器
1
作者
孙熙晨
林旭梅
机构
中共山东省委机关政务保障中心
青岛理工大学信息与控制工程学院
出处
《半导体光电》
CAS
北大核心
2023年第6期857-862,共6页
文摘
提出了一种Al_(2)O_(3)钝化结区的PIN探测器,与传统PIN探测器不同的是,在器件正面的pn结和背面的高低结处沉积了10 nm厚的Al_(2)O_(3)薄膜。经TCAD仿真结果表明,该探测器具有更低的漏电流和保护环处的电子电流密度,能对高能粒子射线入射产生良好的响应。设计了两种探测器的制备步骤并制备了器件,通过薄膜少子寿命的表征、器件的暗态I-V测试和^(241)Am元素能谱测试对其进行了评估。测试结果表明,与传统的PIN探测器相比,Al_(2)O_(3)钝化结区的PIN探测器的少子寿命提升至1 061μs,漏电流降低至5 nA,能量分辨率提升至521 eV,表现出更好的探测性能。
关键词
Al_(2)O_(3)钝化层
PIN探测器
TCAD仿真
暗态漏电流
能量分辨率
Keywords
Al_(2)O_(3)passivation layer
PIN detector
TCAD simulation
dark state leakage current
energy resolution
分类号
TL814 [核科学技术—核技术及应用]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
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1
一种具有高能量分辨率Al_(2)O_(3)钝化结区的PIN探测器
孙熙晨
林旭梅
《半导体光电》
CAS
北大核心
2023
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