高斯光束衍射测量中暗点漂移的研究

在丝径的激光高精度衍射测量中，激光的偏振方向、光束的几何属性和光束中心对衍射体对称中心的偏离都会影响测量的结果。本文从测量的角度对后二者的影响进行较为深入的研究。在理论研究的基础上，进行了计算机模拟，最后提出处理结果的方法。