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EM-5009b激光图形发生器漏曝和曝光移位现象研究
1
作者
方澍
《集成电路通讯》
2003年第2期16-18,共3页
针对EM-5009b激光图形发生器出现漏曝、曝光移位问题,通过实验和分析。总结了产生漏曝、曝光移位现象的一些原因。
关键词
EM-5009b
激光图形发生器
漏曝
曝光移位
掩膜版
数据格式
下载PDF
职称材料
题名
EM-5009b激光图形发生器漏曝和曝光移位现象研究
1
作者
方澍
机构
中国兵器工业第
出处
《集成电路通讯》
2003年第2期16-18,共3页
文摘
针对EM-5009b激光图形发生器出现漏曝、曝光移位问题,通过实验和分析。总结了产生漏曝、曝光移位现象的一些原因。
关键词
EM-5009b
激光图形发生器
漏曝
曝光移位
掩膜版
数据格式
分类号
TN911.73 [电子电信—通信与信息系统]
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作者
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1
EM-5009b激光图形发生器漏曝和曝光移位现象研究
方澍
《集成电路通讯》
2003
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