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基于MEMS的电容式微机械超声换能器曲面阵列的设计与制备 被引量:1
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作者 秦芸 王智豪 +2 位作者 杨玉华 何常德 王任鑫 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2023年第2期272-279,共8页
基于先进的微电子机械系统(MEMS)关键技术,研制了一种使用倒装焊技术将电容式微机械超声换能器(CMUT)与柔性印刷电路板(PCB)键合在一起的16×16阵元曲面阵列。为了研发高密度和高一致性的CMUT柱面阵列,设计了CMUT曲面阵列的工艺流程... 基于先进的微电子机械系统(MEMS)关键技术,研制了一种使用倒装焊技术将电容式微机械超声换能器(CMUT)与柔性印刷电路板(PCB)键合在一起的16×16阵元曲面阵列。为了研发高密度和高一致性的CMUT柱面阵列,设计了CMUT曲面阵列的工艺流程,并进行了制作,制备的CMUT中心频率为3 MHz。然后,对CMUT阵元进行了测试,测试结果表明,电容变化量基本为40~50 pF,且CMUT阵元的收发性能良好。将制作好的CMUT与柔性PCB进行键合,并对其进行划片,再采用聚二甲基硅氧烷(PDMS)填充沟槽,最后粘在曲面模具上溅射金属上电极,制得CMUT曲面阵列。该阵列可在特定方向上弯曲,且曲面阵列的CMUT阵元一致性良好。下一步研究将使曲面阵能够以行列寻址的方式进行发射接收,减少阵元电极的接线数目。 展开更多
关键词 微电子机械系统(MEMS) 电容式微机械超声换能器(CMUT) 曲面阵列 倒装焊 柔性材料
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曲面阵列结构散射与辐射特性的迭代分析 被引量:2
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作者 万国宾 汪文秉 +1 位作者 赵惠玲 万伟 《电波科学学报》 EI CSCD 2001年第2期157-161,176,共6页
建立了一种适用于曲面有限阵列结构辐射与散射特性分析的迭代方法。首先根据阵列结构相同单元电流分布的相似性 ,对曲面有限阵列单元几何形状和表面电流分布作了两个假定 ,将有限阵格林函数法推广应用于曲面有限阵列结构的分析 ;然后给... 建立了一种适用于曲面有限阵列结构辐射与散射特性分析的迭代方法。首先根据阵列结构相同单元电流分布的相似性 ,对曲面有限阵列单元几何形状和表面电流分布作了两个假定 ,将有限阵格林函数法推广应用于曲面有限阵列结构的分析 ;然后给出曲面有限阵列结构迭代分析的一般公式 ,通过迭代运算来消除两个假定近似的影响 ;最后以有限曲面带栅的散射和线源激励曲面带栅结构的辐射分析为例 ,验证了方法的有效性 ,并同逐元法作了比较 ,给出了有关的数值计算结果。结果表明 :这种迭代法不受阵面曲率变化、单元数量和分布情况的限制 ,对有限周期和非周期阵列的分析都有着较高的计算效率和稳定性。 展开更多
关键词 曲面有限阵列 迭代法 散射 辐射 天线
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相控阵超声检测曲面阵列与平面阵列的对比 被引量:4
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作者 陈积乐 魏玉伟 +2 位作者 李琦恒 谭达真 梁圣钊 《无损检测》 CAS 2021年第3期57-61,共5页
在小径管相控阵超声检测中,平面阵列与曲面阵列的耦合效果与聚焦效应是影响检测效果的关键因素。分析了两种换能器的缺陷成像特点,进行了两种换能器对相同缺陷的成像效果对比试验,结果表明曲面阵列在小径管检测应用中具有更高的信噪比... 在小径管相控阵超声检测中,平面阵列与曲面阵列的耦合效果与聚焦效应是影响检测效果的关键因素。分析了两种换能器的缺陷成像特点,进行了两种换能器对相同缺陷的成像效果对比试验,结果表明曲面阵列在小径管检测应用中具有更高的信噪比和更好的成像效果,而平面阵列需增加补偿来达到曲面阵列的检测效果。 展开更多
关键词 相控阵超声检测 管道检测 焊缝 平面阵列 曲面阵列 小径管
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面向皮革缺陷检测的离轴LED曲面阵列照明设计 被引量:11
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作者 王德宇 王雪琨 +3 位作者 于文文 曹建军 钱维莹 高淑梅 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2019年第8期201-207,共7页
提出了一种曲面LED阵列设计方法。根据光线叠加原理,将LED排列在自由曲面上,通过曲率控制LED的出光角度。基于LED曲面阵列离轴照度分布的解析式,引入了基于模拟退火的粒子群优化算法,设定约束条件,构建均匀度评价函数,优化了LED曲面阵... 提出了一种曲面LED阵列设计方法。根据光线叠加原理,将LED排列在自由曲面上,通过曲率控制LED的出光角度。基于LED曲面阵列离轴照度分布的解析式,引入了基于模拟退火的粒子群优化算法,设定约束条件,构建均匀度评价函数,优化了LED曲面阵列的数值模型。制作出实物光源进行照度测量与缺陷检测。理论模拟和实物检测结果均显示,倾斜角度为45°,目标面与发光面面积比值为1∶0.85和1∶4时,照度均匀度分别达到91.79%和98.4%。在皮革缺陷检测中的结果表明,采用LED曲面阵列光源可凸显特定缺陷,易于图像处理,能快速准确地识别缺陷。 展开更多
关键词 光学设计 发光二极管(LED) 自由曲面阵列 离轴均匀照明 机器视觉 缺陷检测
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曲面共形阵列结构快速数值分析方法 被引量:2
5
作者 徐延林 李振 黄贤俊 《电波科学学报》 EI CSCD 北大核心 2020年第4期515-522,共8页
针对曲面共形阵列结构电磁散射特性的高效、精确仿真分析需求,提出了一种并行综合函数矩量法处理方案.该方法是传统电磁经典数值算法——矩量法的一种改进形式,通过几何区域分解处理和综合基函数的方式极大降低了算法的内存消耗,使得单... 针对曲面共形阵列结构电磁散射特性的高效、精确仿真分析需求,提出了一种并行综合函数矩量法处理方案.该方法是传统电磁经典数值算法——矩量法的一种改进形式,通过几何区域分解处理和综合基函数的方式极大降低了算法的内存消耗,使得单机分析电大尺寸问题和大规模阵列问题成为可能.更为重要的是,针对周期阵列结构,该方法具备综合函数复用特性和多区域并行处理特性,能够大大提高算法的综合处理效率.一个6×11的柱面共形贴片阵列被用于验证所提方法的性能,仿真结果表明,对于周期阵列结构,该方法的计算精度与多层快速多极子算法相当,虽然计算效率略低于多层快速多极子方法,但内存消耗比多层快速多极子方法低一个数量级. 展开更多
关键词 曲面共形阵列 散射特性 综合函数矩量法 区域分解 综合函数复用机制 并行处理机制
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基于光电阵列的水下定位通信一体化系统设计 被引量:1
6
作者 马春波 吴宜欣 敖珺 《光通信技术》 北大核心 2020年第7期7-10,共4页
针对无人潜航器(UUV)在水下容易受复杂环境的干扰而造成相对光源姿态偏转,使定位与通信受影响的问题,提出了一种基于曲面阵列的水下定位通信方案,依此方案设计了一套基于现场可编程门阵列(FPGA)为处理核心的水下定位通信系统,并对系统... 针对无人潜航器(UUV)在水下容易受复杂环境的干扰而造成相对光源姿态偏转,使定位与通信受影响的问题,提出了一种基于曲面阵列的水下定位通信方案,依此方案设计了一套基于现场可编程门阵列(FPGA)为处理核心的水下定位通信系统,并对系统进行了测试。测试结果表明:此系统能够精确估计出接收端相对光源的姿态并做出调整,在调整姿态后其通信性能具有明显提升。 展开更多
关键词 无人潜航器 水下定位通信 曲面阵列 光通信 姿态调整
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基于电喷墨技术的多焦距曲面微透镜阵列制备
7
作者 褚金奎 刘瑞 +1 位作者 刘建英 付佳新 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2024年第9期283-287,共5页
随着微纳米工艺的发展,微光学元件的制备和应用成为重要研究方向。生物复眼具有视场大、体积小、动态特性好等优点。微透镜阵列是一种常用的仿生复眼的光学元件,具有广泛的应用场景。为此,提出了一种基于电喷墨打印技术制备多焦距的曲... 随着微纳米工艺的发展,微光学元件的制备和应用成为重要研究方向。生物复眼具有视场大、体积小、动态特性好等优点。微透镜阵列是一种常用的仿生复眼的光学元件,具有广泛的应用场景。为此,提出了一种基于电喷墨打印技术制备多焦距的曲面微透镜阵列的工艺,所制备的多焦距微透镜阵列可以解决曲面基底和平面的图像传感器焦距不匹配引起的离焦模糊问题。首先基于电喷印技术制备平面的多焦距微透镜阵列,然后在表面形成抗粘层并倒模,得到微透镜阵列凹模,最后经负压弯曲注胶固化过程,制备了多焦距的曲面微透镜阵列。阵列的整体半径为6 mm,焦距范围为4.9~6.23 mm,总方向角大于60°。 展开更多
关键词 集成光学器件 多焦距曲面微透镜阵列 电喷墨技术
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平板形、圆柱形、圆锥形石英灯阵列热流计算方法 被引量:3
8
作者 张肖肖 张赐宝 +1 位作者 赵旭升 丛琳华 《航空科学技术》 2022年第11期34-40,共7页
针对平板形、圆柱形、圆锥形石英灯加热阵列,本文提出一种基于解析法的热流快速计算方法,构建了三种加热阵列的解析传热模型,将石英灯管和试验件表面分别离散化为点光源和接收点,利用辐射传热定律逐点计算各点接收到的热流密度,建立了... 针对平板形、圆柱形、圆锥形石英灯加热阵列,本文提出一种基于解析法的热流快速计算方法,构建了三种加热阵列的解析传热模型,将石英灯管和试验件表面分别离散化为点光源和接收点,利用辐射传热定律逐点计算各点接收到的热流密度,建立了圆柱和圆锥加热阵列中单支石英灯管照射范围的判断依据,指出了内加热与外加热情况下算法的区别,得到了典型灯管排布下热流分布规律,可以为热试验加热器设计提供指导。 展开更多
关键词 热流分布 石英灯 平板阵列 曲面阵列 照射范围
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曲面复眼成像系统的研究 被引量:49
9
作者 张红鑫 卢振武 +3 位作者 王瑞庭 李凤有 刘华 孙强 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第3期346-350,共5页
研究了两种曲面复眼成像系统,并首次将曲面场镜阵列引入曲面复眼成像系统,使其边缘视场的成像质量进一步提高,视场角进一步加大。进行了成像系统的建模以及光线追迹,两种结构的视场角分别达到60°和88°,整个系统的体积分别为0.... 研究了两种曲面复眼成像系统,并首次将曲面场镜阵列引入曲面复眼成像系统,使其边缘视场的成像质量进一步提高,视场角进一步加大。进行了成像系统的建模以及光线追迹,两种结构的视场角分别达到60°和88°,整个系统的体积分别为0.9 mm×0.9 mm×0.5 mm和0.9 mm×0.9 mm×0.75 mm。文中给出了用激光直写设备在曲面基底上进行光刻来制作曲面微透镜阵列的方法。 展开更多
关键词 复眼成像系统 视场角 曲面微透镜阵列 光刻
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大视场曲面仿生复眼光学系统设计 被引量:9
10
作者 胡雪蕾 高明 陈阳 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2020年第1期231-239,共9页
为了解决传统成像系统存在的大视场与高分辨率不可兼得的问题,设计了大视场曲面仿生复眼光学系统。首先,针对所采用的间隔型圆周分层微透镜阵列排布方式,建立了一种曲面仿生复眼光学系统成像原理数学模型;再使用微透镜阵列与转像系统相... 为了解决传统成像系统存在的大视场与高分辨率不可兼得的问题,设计了大视场曲面仿生复眼光学系统。首先,针对所采用的间隔型圆周分层微透镜阵列排布方式,建立了一种曲面仿生复眼光学系统成像原理数学模型;再使用微透镜阵列与转像系统相结合的成像方案解决了微透镜阵列所成的曲面像与平面探测器不匹配的问题;并使用光学设计软件对该系统进行仿真分析及公差分析。设计得到的曲面仿生复眼光学系统总视场为152°,组合系统的焦距为61.14 mm,角分辨率为2.304″,系统总长为16.39 mm。相对传统的大视场成像系统而言,此曲面仿生复眼成像系统的畸变更小、分辨率更高。 展开更多
关键词 复眼 仿生设计 曲面微透镜阵列 大视场
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视场拼接复眼成像系统结构及装调方法 被引量:9
11
作者 高天元 董正超 +1 位作者 赵宇 刘智颖 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第11期43-48,共6页
提出了以高分辨率、小视场的子眼镜头为中心,曲面阵列化排布多个分辨率较低、视场大的边缘阵列子眼镜头的人工仿生复眼的结构形式.基于物方视场空间应该保证无缝拼接并尽量缩小重合区域的原则,分析并得到子眼镜头在X方向和Y方向上视场... 提出了以高分辨率、小视场的子眼镜头为中心,曲面阵列化排布多个分辨率较低、视场大的边缘阵列子眼镜头的人工仿生复眼的结构形式.基于物方视场空间应该保证无缝拼接并尽量缩小重合区域的原则,分析并得到子眼镜头在X方向和Y方向上视场角与复眼系统总体视场角的数学关系式,推导出了边缘阵列子眼镜头的周期阵列数n的数学模型,确定了子眼镜头在曲面上的阵列排布方式.依据曲面阵列排布形式设计了子眼镜头曲面固定本体,提出了利用自带光源的自准直经纬仪及计算机图像处理技术的装调方法.在实际装配和调整过程中,完成了中心子眼镜头和边缘第一阵列子眼镜头的安装,利用该系统采集图像数据,结果表明:物方视场空间的实际重合区域与理论设计一致. 展开更多
关键词 仿生复眼 成像系统 视场拼接 装调 结构设计 曲面阵列 光学设计与制备
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NOA73材料的曲面微透镜阵列的制作 被引量:7
12
作者 李向红 刘俊 +1 位作者 张斌珍 唐军 《光电子.激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第2期292-296,共5页
为了实现生物复眼的光学性能,介绍了一种仿生物复眼结构通过使用光刻胶熔融法和NOA73(norland optical adhesive)紫外曝光固化技术。首先采用光刻胶熔融法将一系列具有不同曲率、宽度的平面微凸透镜制作在Si基底上,且微透镜阵列具有统... 为了实现生物复眼的光学性能,介绍了一种仿生物复眼结构通过使用光刻胶熔融法和NOA73(norland optical adhesive)紫外曝光固化技术。首先采用光刻胶熔融法将一系列具有不同曲率、宽度的平面微凸透镜制作在Si基底上,且微透镜阵列具有统一的聚焦特性和光滑度;通过比较NOA73、PDMS两种平面微透镜阵列的聚焦效果,得到NOA73材料具有更好的光学性能;然后利用PDMS的柔韧特性和NOA73紫外曝光固化的特性制作出曲面微凸透镜阵列;最后对曲面微透镜阵列进行成像测试、光强分布测试,结果表明,通过上述工艺制作的曲面微凸透镜阵列,最后对曲面微透镜阵列进行成像测试、光强分布测试,可知通知这种工艺制作的曲面微透镜阵列的尺寸达到微米,光学性能优秀,透光率基本达到100%,具有很好的重复性,可行性且制作简单、快速和低成本,并能模仿复眼结构的部分光学特性。 展开更多
关键词 NOA73 曲面微透镜阵列 光刻胶熔融法 PDMS 光学特性
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曲面近场发光二极管阵列照度均匀性分析与设计 被引量:1
13
作者 陈玉芳 张昊 +1 位作者 王敏 何剑飞 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2020年第16期266-272,共7页
健康医疗领域中往往需要曲面光源照射曲面被测物,如何设计发光二极管(LED)阵列,使其产生均匀的照度分布具有一定的研究意义。为此,将柱面LED曲面面阵分成两部分,直线LED阵列和环形LED阵列。对曲面LED阵列光源和柱状曲面目标接收面的光... 健康医疗领域中往往需要曲面光源照射曲面被测物,如何设计发光二极管(LED)阵列,使其产生均匀的照度分布具有一定的研究意义。为此,将柱面LED曲面面阵分成两部分,直线LED阵列和环形LED阵列。对曲面LED阵列光源和柱状曲面目标接收面的光场分布构建了反映照度分布的目标函数,确定了环形LED阵列的照度均匀性由LED灯珠的光辐射参数、灯珠阵列曲面半径、接收曲面半径和相邻两灯珠之间的夹角决定。采用TracePro光线追迹法分别计算了两种阵列的照度分布情况,通过优化LED曲面面阵排布,在柱面目标面上产生了均匀的照度分布。 展开更多
关键词 成像系统 发光二极管曲面阵列 光照度均匀性 光学设计 医疗
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AFC在超精密加工中的谐波干扰控制研究
14
作者 李捷 《机械设计与制造》 北大核心 2017年第11期198-200,204,共4页
为了提高微阵列表面自由曲面的超精密加工应用中的跟踪精度和抗干扰性,对周期性谐波扰动信号的观测结果作出实时估计和补偿,设计了一种自适应前馈误差消除(AFC)控制器。首先,分析了傅立叶级数的正弦和余弦信号组成影响系统的周期性谐波... 为了提高微阵列表面自由曲面的超精密加工应用中的跟踪精度和抗干扰性,对周期性谐波扰动信号的观测结果作出实时估计和补偿,设计了一种自适应前馈误差消除(AFC)控制器。首先,分析了傅立叶级数的正弦和余弦信号组成影响系统的周期性谐波扰动信号。其次,详细地推导了自适应前馈误差消除算法,得出传递函数。然后,以自适应前馈误差消除控制器作为前馈控制器,应用PID作为反馈控制器,设计了复合控制器,并解释了工作流程。最后,数字仿真实验显示,自适应前馈误差消除控制具有较好的控制效果。 展开更多
关键词 阵列表面自由曲面 超精密加工 自适应前馈误差消除算法
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Estimation of Deep Soil Profiles in Lima Peru
15
作者 Diana Calderon Fernando Lazares +2 位作者 Zenon Aguilar Toru Sekiguchi Shoichi Nakai 《Journal of Civil Engineering and Architecture》 2011年第7期618-627,共10页
Deep shear-wave velocity profiles at eight places in Lima Peru were estimated based on the inversion of dispersion curves. The dispersion curves were calculated from small and large microtremor arrays using two method... Deep shear-wave velocity profiles at eight places in Lima Peru were estimated based on the inversion of dispersion curves. The dispersion curves were calculated from small and large microtremor arrays using two methods: the F-k proposed by Capon (1969) and the CCA proposed by Cho et al. (2004). For the purpose of large array measurement we introduced a new type of sensor. Important results are the relative shallow depths to the basement rock in the area classified as alluvial gravel that covers most of the area of Lima city; and the relative large depth to the bedrock in places identified as VSV and CMA. It is recommended that this study be complemented with PS loggings in order to verify the estimated profiles. 展开更多
关键词 Microtremor array dispersion curve INVERSION soil profile H/V spectrum.
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应用光学自由曲面的曲面结构大视场仿生复眼系统 被引量:7
16
作者 庞阔 宋乐 房丰洲 《光电子.激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第1期8-13,共6页
受限于制造技术,大多数仿生复眼的传感器为平面结构,与生物复眼的曲面结构存在差异,限制了其成像质量和视场扩展。本文设计制造了一个模拟生物复眼结构的大视场仿生复眼,将16块8.5mm CCD传感器组成2×8的曲面阵列,并设计制造了配套... 受限于制造技术,大多数仿生复眼的传感器为平面结构,与生物复眼的曲面结构存在差异,限制了其成像质量和视场扩展。本文设计制造了一个模拟生物复眼结构的大视场仿生复眼,将16块8.5mm CCD传感器组成2×8的曲面阵列,并设计制造了配套的单层结构的曲面2×8透镜阵列,各透镜与传感器成一一垂直对应关系,贴合了生物复眼的结构特征,消除了传统复眼的离轴像差。通过引入光学自由曲面和非球面,保证了单层结构透镜阵列的成像质量,单层透镜阵列降低了系统的制造及装配难度。系统实现了180°×75°视场范围内无盲区的图像采集。实验结果表明,与传统鱼眼镜头相比,本文系统畸变更小,分辨率更高。 展开更多
关键词 复眼 大视场 自由曲面 曲面透镜阵列
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高强度聚焦超声换能器温度场的数值仿真 被引量:9
17
作者 孙武军 张弥左 +3 位作者 李文龙 尹军刚 李智华 菅喜岐 《生物物理学报》 CAS CSCD 北大核心 2009年第5期366-372,共7页
相控阵高强度聚焦超声换能器可以通过换能器上不同阵元发射超声波的时间不同来实现变焦、多焦点。该论文应用Westervelt方程的近似式,结合Pennes热传导方程,以人体乳房为例,FDTD(finite difference time domain)仿真对比研究平面阵列相... 相控阵高强度聚焦超声换能器可以通过换能器上不同阵元发射超声波的时间不同来实现变焦、多焦点。该论文应用Westervelt方程的近似式,结合Pennes热传导方程,以人体乳房为例,FDTD(finite difference time domain)仿真对比研究平面阵列相控聚焦换能器与曲面阵列相控聚焦换能器形成温度场的特性,同时数值仿真研究不同占空比的正弦激励函数、不同治疗频率、声强对曲面阵列相控聚焦换能器超声温度场的影响。研究结果表明曲面阵列相控聚焦换能器能有效地减少皮肤处的温升,对皮肤的伤害较小;对于曲面阵列相控聚焦换能器,不同占空比的正弦激励函数形成的可治疗区域(60℃以上)大小差别不大,但最高温度不同;随着频率升高,形成的可治疗区域体积减小;随着输入声强的增大,可治疗区域变大,但焦距不变。 展开更多
关键词 高强度聚焦超声 相控聚焦 温度场 曲面阵列
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基于LED光强分布的摩托车信号灯配光设计 被引量:1
18
作者 赖伟 陈伟民 +3 位作者 章鹏 雷小华 刘丹平 曾海朋 《光学技术》 CAS CSCD 北大核心 2010年第1期130-133,共4页
为了解决目前LED摩托车信号灯光效低、成本高的问题,提出了一种基于LED光强分布数学模型的新方法。在推导了曲面LED阵列光强分布数学模型的基础上,将其应用于LED摩托车信号灯配光设计。进一步采用Tra-cepro光学仿真软件对该方法设计的LE... 为了解决目前LED摩托车信号灯光效低、成本高的问题,提出了一种基于LED光强分布数学模型的新方法。在推导了曲面LED阵列光强分布数学模型的基础上,将其应用于LED摩托车信号灯配光设计。进一步采用Tra-cepro光学仿真软件对该方法设计的LED摩托车制动灯进行了模拟实验,结果证明曲面LED阵列光强分布的数学模型正确,能够满足国家摩托车配光标准的要求,从而对实现了LED摩托车信号灯的配光设计。 展开更多
关键词 应用光学 LED 摩托车信号灯 光强分布 曲面LED阵列 仿真
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A laser beam shaper for homogeneous rectangular illumination based on freeform micro lens array 被引量:3
19
作者 陈恩果 黄佳敏 +1 位作者 郭太良 吴仍茂 《Optoelectronics Letters》 EI 2016年第4期253-256,共4页
An effective design method of freeform micro lens array is presented for shaping varied laser beams into prescribed rectangular illumination. The variable separation mapping is applied to design concave freeform surfa... An effective design method of freeform micro lens array is presented for shaping varied laser beams into prescribed rectangular illumination. The variable separation mapping is applied to design concave freeform surfaces for constructing a freeform lens array. Several dedicated examples show that the designed freeform optical lens array can achieve a prescribed rectangular illumination pattern, especially without considering the initial states of incident laser beams. Both high collection efficiency and good spatial uniformity can be available simultaneously. Tolerance analysis is also performed to demonstrate that this optical device can well avoid fabricating difficulty in actual applications. 展开更多
关键词 Fits and tolerances Lenses MICROLENSES
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