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Si_(1-x-y)Ge_xC_y合金材料物理特性研究进展 被引量:2
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作者 高勇 刘静 马丽 《微电子学》 CAS CSCD 北大核心 2005年第5期527-530,533,共5页
碳的加入为Si-Ge系统在能带和应变工程上提供了更大的灵活性。文章对Si1-x-yGexCy合金材料物理特性的研究现状进行了概述,重点分析了替位式碳原子在Si1-xGex合金应变补偿和能带工程中的作用,并对其行为机理进行了分析和总结。
关键词 Si1-x-yGexCy合金 应变补偿 能带工程 替位式碳原子
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