标准静态膨胀法真空装置研制

本装置检定范围(10^(-3)～10~5)Pa,最佳校准能力0.012％～2.2％,可以检定薄膜真空计,热传导真空计以及电离真空计。该装置的建立不仅满足了从大气到10^(-3)Pa高真空计量的需求,而且还可以用来校准标准漏孔,拓宽了检测领域。