声表面波气敏传感器敏感薄膜厚度的研究

理论上研究了声表面波气敏传感器敏感薄膜厚度对系统灵敏度的影响。分析了气体浓度、敏感薄膜厚度、敏感薄膜密度对系统灵敏度的共同影响。提出了最佳薄膜厚度的概念,并给出了相应的关系式。