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真空获得技术面临的挑战与对策 被引量:10
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作者 姜燮昌 《真空》 CAS 北大核心 2007年第2期1-7,共7页
为了适应不同应用场合的需要,本文在分析各类真空泵的结构、特性基础上,提出了各种解决方案。最后指出了我国真空获得设备的发展方向。
关键词 真空泵 真空机组 有害气体抽除 无油清洁真空
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