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真空灭弧室的一次封排工艺
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作者 魏铁印 《真空电子技术》 2003年第1期42-44,共3页
以真空灭弧室的一次封排工艺的真空度质量为主 ,对真空灭弧室有关的设计、工艺流程等方面进行讨论 ;
关键词 真空灭弧室 一次封排工艺 吸附 有效烘烤时间 激活温度 二次清洗
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