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ULSI热分析中考虑通孔自热效应后的有效热导系数
1
作者
何旭曙
黄河
+1 位作者
裴颂伟
鲍苏苏
《电子技术应用》
北大核心
2006年第8期90-93,共4页
研究了ULSI热分析中考虑通孔自热效应后的有效热导系数的理论模型,详细计算了不同的通孔间距、通孔直径、通孔高度以及金属线宽对有效热导系数的影响。结果表明,考虑通孔自热效应后,使有效热导系数的计算更加符合实际情况,为进一步分析U...
研究了ULSI热分析中考虑通孔自热效应后的有效热导系数的理论模型,详细计算了不同的通孔间距、通孔直径、通孔高度以及金属线宽对有效热导系数的影响。结果表明,考虑通孔自热效应后,使有效热导系数的计算更加符合实际情况,为进一步分析USLI的热学模型提供了理论依据。
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关键词
有效热导系数
通孔直径
通孔间距
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职称材料
题名
ULSI热分析中考虑通孔自热效应后的有效热导系数
1
作者
何旭曙
黄河
裴颂伟
鲍苏苏
机构
华南师范大学计算机学院
出处
《电子技术应用》
北大核心
2006年第8期90-93,共4页
基金
国家自然科学基金资助项目(60076013)
文摘
研究了ULSI热分析中考虑通孔自热效应后的有效热导系数的理论模型,详细计算了不同的通孔间距、通孔直径、通孔高度以及金属线宽对有效热导系数的影响。结果表明,考虑通孔自热效应后,使有效热导系数的计算更加符合实际情况,为进一步分析USLI的热学模型提供了理论依据。
关键词
有效热导系数
通孔直径
通孔间距
分类号
TK122 [动力工程及工程热物理—工程热物理]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
ULSI热分析中考虑通孔自热效应后的有效热导系数
何旭曙
黄河
裴颂伟
鲍苏苏
《电子技术应用》
北大核心
2006
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