有机改性硅酸盐材料薄膜微光学元件制作研究

利用正交实验法研究相关因素对ORMOSILS(有机改性硅酸盐材料)薄膜成膜性的影响, 并通过调整陈化时间以优化复制工艺。与光敏胶微光学元件相比,复制出的微光学元件光学性能、力学性能有了较大的改善。