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按需有机气相喷印沉积成膜系统的设计
1
作者
舒霞云
马明
+1 位作者
彭文佳
张鸿海
《华中科技大学学报(自然科学版)》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第3期1-6,共6页
提出了一种按需有机气相喷印沉积成膜技术,以惰性气体为载气,携带高温有机蒸汽经由图形化喷嘴喷射,在基板上冷却沉积成形.以AlQ3为有机原料,使用单孔硅喷嘴研究了喷嘴直径、蒸发腔温度、基板温度、载气驱动压力、基板与喷嘴间距、电磁...
提出了一种按需有机气相喷印沉积成膜技术,以惰性气体为载气,携带高温有机蒸汽经由图形化喷嘴喷射,在基板上冷却沉积成形.以AlQ3为有机原料,使用单孔硅喷嘴研究了喷嘴直径、蒸发腔温度、基板温度、载气驱动压力、基板与喷嘴间距、电磁阀开启时间和基板扫描速度等控制参数对喷印图形尺寸的影响,同时进行了单孔喷嘴图形阵列沉积和阵列喷嘴的直接并行沉积实验.实验结果表明:该按需有机气相喷印沉积成膜系统可实现有机材料的精密图形化沉积.
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关键词
有机
电子
有机气相喷印
按需
薄膜沉积
工艺参数
原文传递
题名
按需有机气相喷印沉积成膜系统的设计
1
作者
舒霞云
马明
彭文佳
张鸿海
机构
华中科技大学机械科学与工程学院
出处
《华中科技大学学报(自然科学版)》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第3期1-6,共6页
基金
国家自然科学基金资助项目(61108043
51175204)
高等学校博士学科点专项科研基金资助项目(20120142130011)
文摘
提出了一种按需有机气相喷印沉积成膜技术,以惰性气体为载气,携带高温有机蒸汽经由图形化喷嘴喷射,在基板上冷却沉积成形.以AlQ3为有机原料,使用单孔硅喷嘴研究了喷嘴直径、蒸发腔温度、基板温度、载气驱动压力、基板与喷嘴间距、电磁阀开启时间和基板扫描速度等控制参数对喷印图形尺寸的影响,同时进行了单孔喷嘴图形阵列沉积和阵列喷嘴的直接并行沉积实验.实验结果表明:该按需有机气相喷印沉积成膜系统可实现有机材料的精密图形化沉积.
关键词
有机
电子
有机气相喷印
按需
薄膜沉积
工艺参数
Keywords
organic electronics
organic vapor jet printing
on-demand
thin film deposition
process parameters
分类号
TG173 [金属学及工艺—金属表面处理]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
按需有机气相喷印沉积成膜系统的设计
舒霞云
马明
彭文佳
张鸿海
《华中科技大学学报(自然科学版)》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015
0
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已选择
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