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多模脊形光波导的制备及其耦合对准和损耗测量系统 被引量:2
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作者 温昌礼 季家镕 +2 位作者 冯向华 宋艳生 窦文华 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第2期82-85,共4页
垂直腔面发射激光器,目前在光互连中有着越来越广泛的应用。是一种波长为850 nm的多模激光器,其光输出截面达50μm×50μm,为了更好的匹配该器件,需要研制大截面多模脊形波导,并且为了满足芯片间光互连的需求,对互连波导长度具有较... 垂直腔面发射激光器,目前在光互连中有着越来越广泛的应用。是一种波长为850 nm的多模激光器,其光输出截面达50μm×50μm,为了更好的匹配该器件,需要研制大截面多模脊形波导,并且为了满足芯片间光互连的需求,对互连波导长度具有较高的要求。通过改进制备工艺,研制了直线长度为21 cm的多模聚硅氧烷脊形波导,并成功完成了通光实验;搭建了一套对波导完全无损伤的测量系统,实现了对多模脊形光波导的无损伤测量,测得损耗平均值为约0.18 dB/cm,并利用传统的截断法进行了验证。此外,该系统还可以用于不可见光波段的耦合对准。 展开更多
关键词 光学制造 有机物光波导 模压 损耗测量
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Ridge Waveguide Electro-Optic Polymer Modulator with a New Kind of Corona Poled Crosslinkable Polyurethane 被引量:1
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作者 杨晓红 杜云 +2 位作者 殷爱民 石志文 吴荣汉 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第2期130-133,共4页
A polymer electro optic modulator has been fabricated with the functional layer acting as a kind of corona poled crosslinkable polyurethane. The three optical layers, namely waveguide, photolithography and oxygen are... A polymer electro optic modulator has been fabricated with the functional layer acting as a kind of corona poled crosslinkable polyurethane. The three optical layers, namely waveguide, photolithography and oxygen are fabricated by spin coating. With the Reactive Ion Etching method, the ridge of the waveguide is constructed. With light at 1 31μm being fiber coupled to waveguide, the mode and the modulation properties of these devices are demonstrated in a micron control system. 展开更多
关键词 MODULATOR polymer ridge waveguide
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