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微波ECR氧等离子体参数测量
被引量:
2
1
作者
谭必松
马志斌
吴振辉
《武汉工程大学学报》
CAS
2009年第5期51-53,共3页
利用双探针对微波ECR氧离子体参数进行了诊断研究,测量了等离子体的双探针伏安曲线并计算出电子温度和离子密度,分析了气压、微波功率、氧气流量等参数对等离子体参数的影响.结果表明:a.随着气压的升高,等离子体密度先增大后减小,电子...
利用双探针对微波ECR氧离子体参数进行了诊断研究,测量了等离子体的双探针伏安曲线并计算出电子温度和离子密度,分析了气压、微波功率、氧气流量等参数对等离子体参数的影响.结果表明:a.随着气压的升高,等离子体密度先增大后减小,电子温度逐渐减小.b.等离子密度随微波功率的增加先增加后达到饱和,电子温度受微波功率影响很小.c.随着氧气流量的增加,等离子体密度和电子温度都减小.
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关键词
ECR等离子体
朗谬尔双探针
电子温度
等离子体密度
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职称材料
题名
微波ECR氧等离子体参数测量
被引量:
2
1
作者
谭必松
马志斌
吴振辉
机构
武汉工程大学湖北省等离子体化学与新材料重点实验室
出处
《武汉工程大学学报》
CAS
2009年第5期51-53,共3页
基金
国家自然科学基金(10875093)
文摘
利用双探针对微波ECR氧离子体参数进行了诊断研究,测量了等离子体的双探针伏安曲线并计算出电子温度和离子密度,分析了气压、微波功率、氧气流量等参数对等离子体参数的影响.结果表明:a.随着气压的升高,等离子体密度先增大后减小,电子温度逐渐减小.b.等离子密度随微波功率的增加先增加后达到饱和,电子温度受微波功率影响很小.c.随着氧气流量的增加,等离子体密度和电子温度都减小.
关键词
ECR等离子体
朗谬尔双探针
电子温度
等离子体密度
Keywords
microwave ECR plasma
dobule Langmuir probes
electronic temperature
plasma density
分类号
O539 [理学—等离子体物理]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
微波ECR氧等离子体参数测量
谭必松
马志斌
吴振辉
《武汉工程大学学报》
CAS
2009
2
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职称材料
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