组合机床生产线在下本体加工中的应用

本文介绍了组合机床的特点，加工ＢＪＨ２０９化油器下本体的工艺过程。

组合刀具在本体加工中的应用

在化油器压铸件中，有很多的多级孔。而且在精度及形位公差的要求，这样在加工刀具的选用上，可以有多种多样的选择。本文主要对组合刀具在壳体加工中的应用做一些描述。

适合于本体微机械加工的改进的MOSIC工艺

介绍标准ＩＣ工艺与使用ＫＯＨ或ＥＤＰ（乙二胺－焦儿苯酚混合物）进行本体微机械加工的集成方法。钼被用作最终金属化材料是因为它具有耐ＫＯＨ或ＥＤＰ腐蚀的本领。采用真空退火为的是增强钼对氮化物层的粘附性，这对ＫＯＨ腐蚀是非常重要的。

下世纪初微电子机械系统的发展

介绍了微电子机械系统的四种基本制作技术，即本体微机械加工、表面微机械加工、铸模工艺和晶片键合工艺。重点讨论了实现微系统突破的集成工艺技术。最后简单概述了传感器。